オイルフィルトレーションシステム

UFO-003

UFO-003
■概 要
各種真空装置に用いられる油回転真空ポンプ専用のオイルフィルトレーション装置です。使用しているエレメントは、水分・酸・粒子の除去機能を併せ持つ特殊なエレメントで、積層吸着により高精度で大量に処理できます。本装置を使用する事により、真空ポンプの故障・オイル交換の低減を計ることが可能になります。
■特 長
・油中の水分を吸収できる。
・油中の酸を中和できる。
・油中のパーティクルを除去できる。
・小型・軽量。
・価格が安い。
■適用真空ポンプ容量
UFO-003 50L/min~200L/min
■用 途
・真空乾燥・真空凍結乾燥装置
・真空蒸着装置
・真空スパッター装置
・各種CVD装置
・化学・薬品・医療・食品装置
・真空熱処理装置
・真空溶解炉
・イオン注入装置

注)
真空ポンプの型式によってUFOとの接続ができない機種があります。
機種によって別売のアダプターが必要になります。油は、別途ご購入ください。


オプショナルパーツ

ポンプ接続用パーツ
GCDシリーズに接続する場合は、パーツ不要です。
その他ポンプに接続する際は、接続用パーツをご用命ください。

1. ブッシング  GLDシリーズ、G-101D、G-101S  (UFO-003用)

2. ホースニップル

M10×Dia.10 GLD-051(UFO-003用)
M12×Dia.10 GLD-136A、GLD-136C、GLD-201A、GLD-201B (UFO-003用)
M8×Dia.10 G-101D、G-101S (UFO-003用)


UFW-003
■概 要
多量の水分を真空ポンプで吸引する場合に、効率よく連続的に油中の水分を分離する油水分離装置です。
■特 長
・水分を連続的に排水できる。(油水分離エレメントを使用の場合)

■用 途
・真空乾燥・真空凍結乾燥装置
・真空蒸着装置
・真空スパッター装置
・各種CVD装置
・化学・薬品・医療・食品装置
・真空熱処理装置
・真空溶解炉
・イオン注入装置

注)
「GLD-280」へUFW-003を接続する際には、オイルフィルトレーションの吸入側にオイルクーラーを設置し、油温を下げる必要があります。


仕 様
機種
(エレメント種類)
UFO-003 UFW-003
標準エレメント 油水分離用エレメント
ろ過流量(油処理能力)
0.6/0.72L/min
(50/60Hz)
0.6/0.72L/min
(50/60Hz)
水分除去量
(最大水分吸水能力)
300cc 連続分離・手動排水
水分処理精度
100ppm以下 100~200ppm
酸中和量
(最大酸中和能力)
0.4mol/1エレメント 0.1mol/1エレメント
パーティクル除去精度
(ろ過能力)
0.1μm
所要電力
単相 AC100V 25W(50/60Hz) 単相 AC100V 25W(50/60Hz)
重量(本体重量)
約8.4kg 約8.4kg
最大寸法(mm)
246(W)×268(L)×418(H) 235(W)×270(L)×418(H)
所要油量
約1L 約1L
圧力スイッチ仕様
摘要真空ポンプ容量(参考)
50~200L/min 水分量による

お問合せ先
アルバック機工株式会社
東日本営業部  TEL 045-533-0205 FAX 045-533-0204
西日本営業部  TEL 06-6350-2166 FAX 06-6350-2169
E-mailでのお問合せはこちらから


Copyright (C)2003 ULVAC KIKO, Inc. All Right Reserved.  Ver.4.00(2011年2月10日改訂)
●本サイトに使用している製品の写真、内容、仕様は実際の販売商品とは異なる場合があります。
●技術改良のため、予告なく変更する場合があります。あらかじめご了承ください。