小型真空蒸着装置(VTR) オプショナルパーツ


排気系
排気系

名 称
用   途
バルブ配管セット
 ・メインバルブ
 ・補助バルブ
 ・電磁弁
 ・ベントバルブ
 ・粗引き配管
排気系統にバルブおよび配管を追加し、メインポンプを停止することなく真空槽を大気圧にすることが可能。
また、補助ポンプの停止と供に、補助ポンプを大気圧に開放する電磁弁付のセット部品です


コンポーネント
コンポーネント

名 称
用   途
●蒸発電源 SEREM(セレム) 蒸着用電極の切替え機能
成膜コントローラによる外部自動制御機能
出力リモコン
出力150A(1φ200V)仕様の蒸発電源
●成膜コントローラ 水晶発振式成膜コントローラ
蒸着中の膜厚をモニタリングし、希望の膜厚制御および成膜(蒸着)速度が一定に保たれるように蒸発電源へのフィードバック制御が可能
●膜厚センサー(30導入端子付) 水晶発振式成膜コントローラ用センサー
100℃以下の蒸着用
●真空計セット 低真空領域から高真空領域までの圧力測定用


 蒸発電源 SEREM このページの先頭へ

PSE-150C


電圧 AC 100V 単相 0.8kVA(50/60Hz)許容電圧変動範囲=±10%
負荷電流 Max. 80A
制御信号 外部自動制御入力 DC-0~10V/0~100%設定受信インピーダンス 1MΩ
電力制御方式 サイリスタ交流位相制御方式(出力安定精度:±10%・出力変動±2%)
定 格 30分
外形寸法 480mm(W)×360mm(D)×149mm(H)(突起部および付属品は除く)
質 量 約24kg

オプション
仕様コード PSE-8C11111 PSE-8C21111 PSE-8C31111 PSE-8C11211 PSE-8C21211 PSE-8C31211
出力ポジション切替機能 1点切替 2点切替 3点切替 1点切替 2点切替 3点切替
成膜コントローラによる自動制御
出力リモコン オプション オプション オプション オプション オプション オプション


仕様コード PSE-15C11111 PSE-15C21111 PSE-15C31111 PSE-15C12211 PSE-15C22211 PSE-15C32211
出力ポジション切替機能 1点切替 2点切替 3点切替 1点切替 2点切替 3点切替
小電力タップ切替機能
成膜コントローラによる自動制御
温度指示調節計による自動制御
出力リモコン オプション オプション オプション オプション オプション オプション

仕様コード
項 目 コード 仕 様
1. シリーズ PSE- 抵抗加熱式真空蒸着装置用蒸発電源、パネルラックマウント方式、デジタル表示
2. 電源容量
→ 出力容量を選択可能です。
8 入力:単相100V、出力:80A(max) 0~10V 0.8kVA(max)※注1
15 入力:単相200V、出力:150A(max) 0~10V 1.5kVA(max)
3. 制御方式 C 自動定出力フィードバック制御(定電流/定電圧/定電力 選択式)
4. 出力ポジション切替機能
→ 蒸発源の電極構成により選定可能です。
1 なし:1点
2 2点切替
3 3点切替
5. 小電力タップ切替機能
→ 有機物などの小さな出力調整に有効です。
1 なし
2 低出力(0~50A)/高出力(0~150A)変圧器タップ切替
6. 自動コントロール機能
→ 成膜コントローラによる出力自動制御用の機能です。
1 なし:手動調整
2 膜厚計による出力自動制御機能付(固定)
3 膜厚計又は温調計による出力自動制御機能付(切替)
7. 組込型温度指示調節計
→ 温調計による出力自動制御用の機能です。
1 なし
2 あり(PID制御方式)※注2
8. 出力リモコン
→ 真空槽内を監視しながらの出力調整に有効です。
2 なし
2 あり(ON/OFF、UP/DOWN操作)
※注1 出力ポジション切替機能、膜厚計自動機能、出力リモコンは対応可能。(小電力機能/温度自動機能/温調計機能は対応不可)
※注2 自動コントロール機能 [3] を選択時のみに適用。



 成膜コントローラー このページの先頭へ
CRTM-6000G

  CRTM-6000G
膜厚・レート分解能 0.04Å(5MHz New Crystal)
0.03Å(6MHz New Crystal)
膜厚表示範囲 0.001~999.9 kÅ
膜厚最小表示分解能 1 Å
蒸着速度表示範囲 0.1~999.9Å/s
取付可能センサ数 1
質量 3.2 kg
ユーティリティ AC 85~230V、200VA



膜厚制御
蒸着速度制御
蒸着前後のパワー制御
多層膜蒸着制御
多元素同時蒸着制御
超低レート制御
TZC機能
MLC機能
プログラム保存


  真空計セット このページの先頭へ
ISG1
測定圧力範囲 5×1-8~1×10Pa
測定精度 5×1-8~1.0×10Pa :±15%
1.0×10~3.0×10Pa :±30%
3.0×10~1.0×10Pa :精度保証なし
圧力表示 デジタル表示
電源 DC24V±1V リップル、ノイズ1%以下
質量 250g
測定子 SH2-1(M-34)、SPU(WP-16)


  膜厚センサー このページの先頭へ
CRTS-4
ベーキング温度
150℃ (Max)
センサヘッド最大寸法
31×19
フランジからの長さ
300mm
水冷パイプ直径
4mm
冷却水量
200cc/min
水冷パイプ接栓
シンフレックスチューブ ジョイント1/4 インチ
標準付属品
水晶振動子5枚、オシレータ、ケーブル


装置外部系
装置外部系

名 称
用   途
●金属チャンバー(水冷コイル付) チャンバーの過熱防止
●計器ラック 制御機器の収納



金属チャンバー(水冷コイル付)
チャンバーの過熱防止用です。


計器ラック
蒸発電源、基板加熱計器ボックス、基板回転用ドライバの収納が可能です。

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真空槽内部治具系
真空槽内部治具系

名 称
用   途
●試料ホルダー 試料の固定
●防着板 真空槽(チャンバー)内面への薄膜付着防止
●基板回転機構 膜厚分布向上の自転機構
●基板加熱装置/SH-350F 基板(試料)の加熱用/設定温度350℃(Max)
●基板加熱装置/SH-650F 基板(試料)の加熱用/設定温度650℃(Max)
(金属チャンバーが別途必要)
●カーボン電極セット カーボンの薄膜作成用
●その他 ご要求に応じてカスタマイズいたします。お問合せください。



試料ホルダー
薄膜を蒸着させたい基板(ガラス・シリコンウエハ等)を取付けるためのホルダーです。



防着板
ベルジャー内面への薄膜付着を防ぎます。



基板加熱装置 (SH-350F)
基板を加熱するための加熱台と計測機器のセットです。


基板回転機構
自転機構により膜厚均一性の向上が可能です。

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カーボン電極セット
カーボンの薄膜作成用です。

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電極構成
電極構成

名 称
用   途
●蒸発電極2点式 (切替) 2点切替蒸着/単層膜および積層膜の作成用
●蒸発電極2点式 (同時) 2点同時蒸着/複合膜や単層膜の厚膜作成用
●蒸発電極3点式 (切替) 3点切替蒸着/単層膜および積層膜の作成用
卓上型蒸着装置は、2点切替式のみ対応可能です。

VTR-060M/ERH 2点切替
VTR-060M/ERH 2点同時
VTR-060M/ERH 3点切替
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その他、ご要求に応じてカスタマイズいたします。お気軽にお問合せください。


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東日本営業部  TEL 045-533-0205 FAX 045-533-0204
西日本営業部  TEL 06-6350-2166 FAX 06-6350-2169
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