小型真空设备



1. 罗茨式真空排气装置 (VM系列)
型号
排气装置
极限压力
特 性
主泵
辅助泵
Pa
罗茨式真空泵
(833L/min)
油旋片式真空泵
(200L/min)
4.0×10-2
使机械增压泵、辅助泵、管道紧密结合的小型高真空排气装置。
使用与保养检修很简单,最适合用于实验。


2. 高真空排气装置 (VPC系列)
型号
排气装置
极限压力
特 性
主泵
辅助泵
Pa
油扩散泵
(50L/sec)
油旋片式真空泵
(20L/min)
7.0×10-4
在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器的低成本小型高真空排气装置。使用与保养检修很简单,最适合用于实验。
VPC-250F
油扩散泵
(200L/sec)
油旋片式真空泵
(100L/min)
10-4


3. 高真空排气装置 (DEPOX系列)
型号
排气装置
极限压力
特 性
主泵
辅助泵
Pa
油扩散泵
(200L/sec)
油旋片式真空泵
(100L/min)
10-4
在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。使用简单,最适合用于实验。
油扩散泵
(400L/sec)
油旋片式真空泵
(200L/min)
10-4
涡轮分子泵
(345L/sec)
油旋片式真空泵
(200L/min)
10-4
涡轮分子泵
(345L/sec)
涡旋干式真空泵
(250L/min)
10-4


4. 真空镀膜机 (VPC系列)
型号
排气装置
极限压力
特 性
主泵
辅助泵
Pa
油扩散泵
(200L/sec)
油旋片式真空泵
(100L/min)
1.3×10-3
<VPC-260>
在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器的电阻加热式低成本小型真空蒸发装置。最适合用于小基板尺寸的基础研究开发等实验。
<VPC-1100>
在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、皮拉尼真空计、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器,并且配备了钟罩升降装置,是电阻加热式高速型真空蒸发装置。使用与保养检修很简单,最适合用于大基板尺寸的基础研究开发等实验。
VPC-1100
油扩散泵
(1100L/sec)
油旋片式真空泵
(200L/min×2)
4.0×10-4


5. 真空镀膜机 (DEPOX系列)
型号
排气装置
极限压力
特 性
主泵
辅助泵
Pa
油扩散泵
(200L/sec)
油旋片式真空泵
(100L/min)
8.0×10-4
在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、皮拉尼真空计、电离真空计、真空管、电力系统等必要机器的电阻加热式小型真空蒸发装置。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。使用简单,最适合用于基础研究开发等实验。
VWR-400M/ERH
油扩散泵
(400L/sec)
油旋片式真空泵
(200L/min)
4.0×10-4
涡轮分子泵
(345L/sec)
油旋片式真空泵
(200L/min)
4.0×10-4
VTS-350M/ERH
涡轮分子泵
(345L/sec)
涡旋干式真空泵
(250L/min)
4.0×10-4


6. 高频溅射系统 (RFS/SCOTT系列)
型号
排气装置
极限压力
特 性
主泵
辅助泵
Pa
油扩散泵
(150L/sec)
油旋片式真空泵
(100L/min)
6.6×10-4
是装载了RF电源的小型高周波溅射装置。因为可以为金属、半导体、绝缘物体成膜,所以最适合用于基础研究开发等实验。
VTR-151M/SRF
涡轮分子泵
(230L/sec)
油旋片式真空泵
(200L/min)
6.6×10-4



7. 超小型无水吸引器 (MDA系列)
型号
排气装置
极限压力
特 性
主泵
辅助泵
Pa
膜片干式真空泵
(6L/min)
-
6.6×103
内藏膜片干式真空泵的携带型吸引器。
适用于、旋转蒸发仪、离心蒸发仪、真空过滤等的减压。

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