このコーナーのQ&Aは、アルバック機工の創立30周年を記念して企画編集した
「真空でなにができるか」 (日刊工業新聞社発行)から抜粋したものです。
※記載の順序や表記方法は一部変更しています。

 

真空をつくるためのQ&A
Q1.3 ダイアフラム型ドライ真空ポンプとは?

油や液体を使用しない機械式真空ポンプで、特に油蒸気などによる汚染がないクリーンな雰囲気を要求される用途に最適なポンプです。最近の半導体製造産業、エレクトロニクス機器産業の急速な発展に伴って、ダイアフラム型真空ポンプの需要も急激に拡大傾向を示しています。

たとえば、ICのウェハ吸着装置、真空チャック、フィルム吸着、自動機械、包装機械、光学機械、真空ピンセット、医療用機械、印刷機械など、用途面も広範囲にわたっています。

ダイアフラム型真空ポンプの外観を写真に示します。偏心回転軸に固定されたステムに取り付けられた隔膜(ダイアフラム)の移動により気体を輸送する形式で、隔膜の移動可能量に限界があるため、比較的小容量のものが多いです。



ダイアフラム型真空ポンプの外観


ダイアフラム型真空ポンプの構造


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