このコーナーのQ&Aは、アルバック機工の創立30周年を記念して企画編集した
「真空でなにができるか」 (日刊工業新聞社発行)から抜粋したものです。
※記載の順序や表記方法は一部変更しています。

 

真空をつくるためのQ&A
Q1.7 メカニカルブースタポンプとは?

油回転真空ポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度の落ち込む圧力領域において、その排気速度を大幅にアップさせることができます。

メカニカルブースタ真空ポンプの外観を写真に示します。ケーシング内にある2個のマユ型ロータがその軸端の駆動ギアにより互いに反対方向に同期回転します。吸気口から入った気体はケーシングとロータ間のわずかな空間に閉じ込められ、ロータの回転で排気口側に排出され、後段の補助ポンプで大気中に放出されます。ロータはロータ同士およびケーシングと接触することなく、わずかな隙間(0.1~0.3mm)を保ちながら回転し、気体を輸送するので、ロータ室内には潤滑油を必要としません。したがって油蒸気による汚染の少ない真空排気が可能です。またロータは高速回転が可能で、ケーシングとの間に摩擦の心配はありません。

この形式のポンプは、大気圧に放出するほかの形式のポンプ(たとえば油回転真空ポンプ)を補助ポンプとして使用し、高真空側に用います。到達圧力は、0.5~5Paと広範囲にわたって安定した性能を発揮できる特長をもっています。



メカニカルブースタ真空ポンプの外観



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