このコーナーのQ&Aは、アルバック機工の創立30周年を記念して企画編集した
「真空でなにができるか」 (日刊工業新聞社発行)から抜粋したものです。
※記載の順序や表記方法は一部変更しています。

 

真空をつくるためのQ&A
Q1.9 油回転真空ポンプの1段式と2段式の違いは?

回転翼型油回転真空ポンプで説明します。

(1)1段式
  ロータ、シリンダ、しゅう動翼板の組合せが1組のポンプを1段式と呼びます。
(2)2段式
  ロータ、シリンダ、しゅう動翼板の組合せを直列に2組つないで圧縮比を大きくとることにより、低圧力を得るようにしたものを2段式と呼びます。

なお、この組み合わせを3段以上にしても排管抵抗(コンダクタンス)および真空ポンプ油の蒸気圧の関係から、2段式以下の圧力にはならないと言われています。



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