このコーナーのQ&Aは、アルバック機工の創立30周年を記念して企画編集した
「真空でなにができるか」 (日刊工業新聞社発行)から抜粋したものです。
※記載の順序や表記方法は一部変更しています。

 

真空排気系をつくるためのQ&A
Q2.1 真空排気系に使用する真空ポンプの選定方法は?

まず選定の項目として、下記を確認します。

1. 真空ポンプの種類では、ドライポンプまたはオイルポンプのどちらがよいか選定します。
2. プロセス圧力(操作圧力)はどの程度必要であるか。
→これにより大別できますので、真空ポンプを選定します。
3. 目標到達圧力までの排気時間はどれくらいか。
4. どんな気体を吸引するのか。
→耐食性が必要な場合には、耐食ポンプを選定します。
5. 配管の長さ・コンダクタンスなどによる安全率を考慮します。

以上を踏まえて具体的に選定します。




真空ポンプ選定のフローチャート


Copyright (C)2003 ULVAC KIKO, Inc. All Right Reserved.  Ver.4.00(2011年2月10日改訂)
●本サイトに使用している製品の写真、内容、仕様は実際の販売商品とは異なる場合があります。
●技術改良のため、予告なく変更する場合があります。あらかじめご了承ください。