このコーナーのQ&Aは、アルバック機工の創立30周年を記念して企画編集した
「真空でなにができるか」 (日刊工業新聞社発行)から抜粋したものです。
※記載の順序や表記方法は一部変更しています。

 

真空排気系をつくるためのQ&A
Q2.2 真空容器の排気時間はどのように求めるのですか?

密閉された空間を真空にするとき、初めの圧力から必要とする操作圧力まで排気する時間と真空ポンプの大きさを決める必要があります。

真空容器の大きさV(L)を排気速度S(L/min)の真空ポンプで、初めの圧力P1(Pa)から必要な圧力P2(Pa)まで排気するための時間t(min)は次の式で計算できます。

この計算をするとき真空ポンプの排気速度Sは圧力領域によって変わるので、そのときはSの大きさにより圧力領域を分けて、t1、t2、t3…に分けて計算して、

t=t1+t2+t3+…とします

真空ポンプの排気速度の大きさを求めたいときには、上式のtとSを入れ換えて次の式で概略の計算ができます。




排気時間の求め方の説明図



100リットルのタンクを大気圧から100Paまで排気するのに要する時間は?



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