このコーナーのQ&Aは、アルバック機工の創立30周年を記念して企画編集した
「真空でなにができるか」 (日刊工業新聞社発行)から抜粋したものです。
※記載の順序や表記方法は一部変更しています。

 

真空排気系をつくるためのQ&A
Q2.3 操作圧力はどのようにしてつくるのですか?

真空空間を使って何かを作業しようとするとき、一定圧力に排気して必要な圧力を維持しなければなりません。

また特定なガスを流すことにより、特定なガス雰囲気をつくるため、ガス量Q(Pa・L/min)を流すことがあります。そのとき真空系においては、圧力Pと排気速度Sの関係においてQは一定です。

簡単な式で示すと次のようになります。

よって必要な操作圧力を求めるためには、

として計算します。




操作圧力のつくり方の説明図


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