このコーナーのQ&Aは、アルバック機工の創立30周年を記念して企画編集した
「真空でなにができるか」 (日刊工業新聞社発行)から抜粋したものです。
※記載の順序や表記方法は一部変更しています。

 

真空排気系をつくるためのQ&A
Q2.4 配管抵抗は排気速度にどのような影響を及ぼすのですか?

真空容器と真空ポンプを接続するときの注意として、配管抵抗は軽視できません。配管の抵抗は真空関係ではコンダクタンスとして表現していますが、コンダクタンスは抵抗の逆数となり、抵抗ではなく通りやすさと表現したほうがよいでしょう。単位は排気速度と同じ(L/min)になります。

真空ポンプの排気速度をS1(L/min)とし、配管のコンダクタンスをC(L/min)とすると、真空容器入口での排気速度S2(L/min)は次の式で表します。

よって、たとえば、S1とCが同じ値であれば、S2はS1の1/2となってしまうので、Cは十分大きくする必要があります。




Copyright (C)2003 ULVAC KIKO, Inc. All Right Reserved.  Ver.4.00(2011年2月10日改訂)
●本サイトに使用している製品の写真、内容、仕様は実際の販売商品とは異なる場合があります。
●技術改良のため、予告なく変更する場合があります。あらかじめご了承ください。