このコーナーのQ&Aは、アルバック機工の創立30周年を記念して企画編集した
「真空でなにができるか」 (日刊工業新聞社発行)から抜粋したものです。
※記載の順序や表記方法は一部変更しています。

 

真空排気系を利用するときのQ&A
Q3.1 水分が含まれた凝縮性ガスを吸引したときの対応は?

〈油回転真空ポンプ〉
ポンプ表面温度が60~70℃程度に温まってから、ガスバラストバルブ(ガスバラ機能があるポンプのみ)を開放し、水分を排気します。

多量の水分を吸引した場合や長時間ガスバラをかけても浄化が進まない場合、またはガスバラストバルブ機能がない場合にはすぐに油を交換してください。そのまま放置しますと性能の低下だけでなく、さびなどが発生しポンプが回転不良を起こす原因となります。

油に混入した水分は、オイルフィルトレーションシステムで取り除くことも可能です。


〈ドライポンプ〉
水分を取り除く必要があります。特にダイアフラム型真空ポンプの場合、寿命が縮まります。

ポンプ室部品には耐水性でないものがあり、どうしても水蒸気の吸引を避けられない場合は、頻繁に大気開放状態でポンプを運転し、内部の水分を吐き出させるようにしたほうが効果的です。

また、ポンプ室部品が耐水性のあるタイプ(例:フッ素樹脂)を使用するのも一つの手段です。この場合も、使用後あるいは1日数回、大気開放状態でポンプを運転したほうが効果的です。



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