このコーナーのQ&Aは、アルバック機工の創立30周年を記念して企画編集した
「真空でなにができるか」 (日刊工業新聞社発行)から抜粋したものです。
※記載の順序や表記方法は一部変更しています。

 

真空排気系を利用するときのQ&A
Q3.5 圧力や流量を調整する方法は?

圧力調整
必要とする圧力に、ある程度の幅があるのであれば、必要とする圧力に合った真空ポンプの選択が必要です。それ以外に圧力を調整する方法としては、意図的に“洩れ”をつくることにより調整する方法があります。真空容器に小さな穴を空け、その穴の大きさを調整することによって圧力を調整します。

意図的に洩れをつくる道具として、真空レギュレータやバリアブルリークバルブなどがあります。しかし圧力計の数値を確認しながらの調整となるうえ、その時々の環境に左右される要素が多いので、非常に難しく微妙な作業になることが予想されます。また場合によっては真空ポンプの故障の原因となりますので、専門的な知識をもった人に確認したほうがよいと思います。


流量の調整
流量を調整する方法としては、意図的に管抵抗をつくることにより調整する方法があります。排気側の管に遮へい物を設け、その遮へい物を調整することによって流量を調整します。

意図的に管抵抗をつくる道具として、流量を調整する機能をもった流量計を用いるか、あるいは開閉量を調整できるゲートバルブやクラッパバルブを用いる方法があります。



圧力調整と流量調整


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