このコーナーのQ&Aは、アルバック機工の創立30周年を記念して企画編集した
「真空でなにができるか」 (日刊工業新聞社発行)から抜粋したものです。
※記載の順序や表記方法は一部変更しています。

 

真空排気系を利用するときのQ&A
Q3.6 油回転真空ポンプのオイルはなぜ指定されているのですか?

油回転真空ポンプに使用されるオイルには、一般に使われる機械油とは異なった次のような特徴があります。

(1)蒸気圧が低い
  オイルの蒸気圧が吸引圧力に影響されないように、真空ポンプに使われるオイルは、蒸気圧が低いことが要求されます。蒸気圧が高いと、排気とともにオイルが気化してしまい、性能が著しく悪くなります。
(2)水との分離性がよい
  真空ポンプが空気を吸引する場合、同時に水蒸気を吸引することが多いので、水との分離性がよいことが要求されます。水との分離性が悪いと、オイルの蒸気圧が高くなり、性能が著しく悪くなります。
(3)耐熱性がよい
  ポンプ内のしゅう動部は摩擦により比較的高温になるため、耐熱性があることが要求されます。熱によってオイルが変質してしまうと、(1)や(2)の特徴が失われ、性能が著しく悪くなります。
(4)性質が安定している
  真空ポンプは空気に限らず、特殊ガスを吸引することも多いので、特殊ガスによる影響を受けず、常に安定した状態を保てることが要求されます。

このように油回転真空ポンプの性能は、使用するオイルで決まると言っても過言ではありません。
また油回転真空ポンプごとに、回転数、回転トルク、摩擦力などの機械的性質が違うため、それぞれに合ったオイルをメーカーが指定しています。



Copyright (C)2003 ULVAC KIKO, Inc. All Right Reserved.  Ver.4.00(2011年2月10日改訂)
●本サイトに使用している製品の写真、内容、仕様は実際の販売商品とは異なる場合があります。
●技術改良のため、予告なく変更する場合があります。あらかじめご了承ください。