幅広い産業分野で利用される真空ポンプ

小型ドライ真空ポンプ一覧

ダイアフラム型(DAシリーズ)ダイアフラム型(DAPシリーズ)ダイアフラム型(DAU・MDシリーズ)
ダイアフラム型(DTU・MD-Cシリーズ)ダイアフラム型(DTCシリーズ)揺動ピストン型(DOPシリーズ)
回転翼型(DSBシリーズ)スクロール型(DISシリーズ)スクロール型(DISLシリーズ)
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ(DVRシリーズ)

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA(P・T・L)シリーズ
型式
排気速度
L/min
(50/60Hz)
到達圧力
Pa





















特  長
6/7 6.65×103
豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。
1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。
2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力(良い真空)。
サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
大気圧から作動が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
12/14 24.0×103
9 6.65×103
18 24.0×103
12/15
6.65×103
24/30
26.6×103
30/36
6.7×103
60/72
21.3×103
50/55
3.3×103
100/110
13.3×103
20/24
5.33×103
40/46
19.9×103
40/46 3.3×103
75/85 13.3×103
60/72
3.32×103
120/144
13.3×103
120/145
3.3×103
240/260
16.0×103
180/210
3.3×103
360/390
17.3×103

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAPシリーズ
型式
排気速度
L/min
(50/60Hz)
到達圧力
Pa





















特  長
15/18
39.9×103
配管の接続位置により、真空ポンプまたは加圧ポンプとして使用可能。
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
大気圧から作動が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
30/36
33.3×103
 
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU・MDシリーズ
型式
排気速度
L/min
(50/60Hz)
到達圧力
Pa





















特  長
20/23
200
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。
ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能。
サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
大気圧から作動が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
100/110
266
60/70
100

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DTU・MD-Cシリーズ
型式
排気速度
L/min
(50/60Hz)
到達圧力
Pa





















特  長
20/23
200
有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応した、ケミカルタイプ。
到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。
サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
大気圧から作動が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
MD8Cは、外国為替及び外国貿易法の規定により戦略物資等輸出規制品に該当。
MD4UCNT
50/60
150

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DTCシリーズ
型式
排気速度
L/min
(50/60Hz)
到達圧力
Pa





















特  長
20/24
1.0×103
有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応した、ドライ真空ポンプのケミカルタイプ。
サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
大気圧から作動が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
DTC-120は、外国為替及び外国貿易法の規定により戦略物資等輸出規制品に該当。
40/46
1.0×103
60/70
1.0×103
120/140
1.0×103

揺動ピストン型ドライ真空ポンプ DOPシリーズ
型式
排気速度
L/min
(50/60Hz)
到達圧力
Pa





















特  長
40/44
1.2×103
大排気量でコンパクトサイズ。
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。
DOP-80SPは、ピストン構造を生かした加圧ポンプの専用タイプ。
サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
大気圧から作動が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
80/88
5.33×103
80/84
加圧専用
120/140
8.0×103
DOP-181S 180/200 10.0×103
300/330 8.0×103
400/440 12.0×103
420/460 17.3×103

回転翼型ドライ真空ポンプ DSBシリーズ
型式
排気速度
L/min
(50/60Hz)
到達圧力
Pa





















特  長
167/200
15.0×103
大排気量でコンパクトサイズ。
設備に合わせて吸排気口位置を選択可能。
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
大気圧から作動が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
267/317
15.0×103
417/500
12.0×103
667/800
12.0×103
DSBシリーズの排気速度は、設計排気速度を記載しております。
設計排気速度は大気圧の気体を吸引した場合の実行排気速度の1.2倍程度の数値となります。


スクロール型ドライ真空ポンプ DISシリーズ
型式
排気速度
L/min
(50/60Hz)
到達圧力
Pa





















特  長
90/108 5
大排気量でコンパクトサイズ。
ドライ型真空ポンプとしては最高レベルの到達圧力。
エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止。
250/300 1.6
500/600 1
DISシリーズの排気速度は、設計排気速度を記載しております。
設計排気速度は大気圧の気体を吸引した場合の実行排気速度の1.2倍程度の数値となります。


スクロール型ドライ真空ポンプ DISLシリーズ
型式
排気速度
L/min
(50/60Hz)
到達圧力
Pa





















特  長
100/120 20
大排気量でコンパクトサイズ。
高湿ガスに強い、真空ポンプ。
エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止。
430/520 30


多段ルーツ型ドライ真空ポンプ DVR・RDAシリーズ
型式
排気速度
L/min
(50/60Hz)
到達圧力
Pa









特  長
280
≦8.0×10-2
6段排気方式
ドライで油回転真空ポンプと同等の到達性能。
大気圧から到達まで全圧力帯で運転可能。
水蒸気に強い。
冷却水が不要。
単相/三相電源を1機種で対応可能。
摺動部が無く長寿命。
500
≦8.0×10-2
6段排気方式
上記ルーツ型ドライ真空ポンプより排気速度の大きなポンプをご希望される方は、株式会社アルバックの製品をご確認下さい。

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