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油回転真空ポンプ
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小型油回転真空ポンプ Gシリーズ
 G-5G-5DAG-10DAG-25SAG-20DA
 G-50SAG-50DAG-101SG-101D

小型油回転真空ポンプ GHDシリーズ
 GHD-031GHD-100

小型油回転真空ポンプ GLS・GLDシリーズ
 GLD-040GLS-051GLD-051
 GLD-137AAGLD-137CC
 GLD-202AAGLD-202BBGLD-280A

小型油回転真空ポンプ GCDシリーズ
 GCD-051XGCD-136XGCD-201X

ルーツ型真空ポンプ MBSシリーズ
 MBS-053

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真空ポンプオプション
 真空ポンプ油(R-2/SO-M/SMR-100)
 オイルミストトラップ(OMT)
 インライントラップ(OMI)
 オイルミストセパレーター[耐食型](OMC)
 オイルミストトラップアダプター
 フォアライントラップ(OFI)
 吸排気フィルター(SGT)
 逆止弁
 フィルター付吸気管
 アダプター
 真空ゴムホース
 吸気管・排気管(各種)
 ブルドン管真空計
 防振ゴム対応表

小型オイルフィルトレーションシステム
 オイルフィルトレーションシステム

真空機器オプション
 DEPOX(VFR/VWR/VTR/VTS)小型真空蒸着装置
 VPC-1100高速型真空蒸着装置
 VPC-061/061A/260F 卓上型・小型真空蒸着装置
 VTR-060M/ERH小型真空蒸着装置
 小型真空排気装置

真空配管用部品
 クイックカップリングクランプセンターリング
 ブランクフランジノズルニップルエルボティ
 クロスKFフランジ変換フランジ(レジューサー)
 ゲージポートリークポートVCRアダプター
 フレキシブルチューブ

 
 
 

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DA(P・T・L)シリーズ
 DAP-6DDAP-12SDAP-9D-DC24DAP-18S-DC24
 DA-15DDA-30SDA-30DDA-60SDAT-50D
 DAT-100SDA-20DDA-40SDA-41DDA-81S
 DA-60DDA-120SDA-121DDA-241S
 DAL-181DDAL-361S

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAPシリーズ
 DAP-15DAP-30

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU・MDシリーズ
 DAU-20DAU-100MD4UNT

型ドライダイアフラム真空ポンプ DTU・MD-Cシリーズ
 DTU-20MD4UCNT

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DTCシリーズ
 DTC-22DTC-41DTC-60DTC-120


揺動ピストン型ドライ真空ポンプ DOPシリーズ
 DOP-40DDOP-80SDOP-80SPDOP-120SY
 DOP-181SDOP-301SBDOP-400SBDOP-420SA

回転翼型ドライ真空ポンプ DSBシリーズ
 DSB-151DSB-251DSB-451DSB-601

スクロール型ドライ真空ポンプ DISシリーズ
 DIS-90DIS-251DIS-501


スクロール型ドライ真空ポンプ DISLシリーズ

 DISL-101DISL-503

多段ルーツ型ドライ真空ポンプ DVR・RDAシリーズ
 RDA-281HRDA-501H


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高真空排気装置 VPCシリーズ
 VPC-051VPC-051AVPC-250F

高真空排気装置 DEPOXシリーズ
 VFR-200M/XVWR-400M/X
 VTR-350M/XVTS-350M/X

ターボ分子ポンプ排気装置 VPTシリーズ
 VPT-060

メカニカルブースターポンプ排気装置  VMシリーズ  
 VMR-050VMD-030 

卓上型/小型真空蒸着装置 VPCシリーズ  
 VPC-061VPC-061A VPC-260F

卓上型/小型真空蒸着装置 VTRシリーズ
VTR-060M/ERH

小型真空蒸着装置 DEPOXシリーズ
 VFR-200M/ERHVWR-400M/ERH
 VTR-350M/ERHVTS-350M/ERH

高速型真空蒸着装置 VPCシリーズ
 
VPC-1100

高周波スパッタリング装置 SCOTT・RFSシリーズ
 SCOTT-C3RFS-201

アスピレーター MDAシリーズ
 MDA-006MDA-015A

 
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