シンプル構造で大学や研究機関の実験機に選ばれている真空機器

小型真空機器一覧


ご要求に応じて、排気装置、蒸着装置、スパッタ装置の設計・製作をいたします。

排気装置(VPC)排気装置(DEPOX)TMP排気装置メカブ排気装置
卓上型/小型蒸着装置(VPC)小型蒸着装置(DEPOX)高速型蒸着装置
スパッタ装置アスピレーター

高真空排気装置 VPCシリーズ
型 式 メインポンプ 補助ポンプ 特 長
VPC-051 油拡散ポンプ(空冷) 油回転真空ポンプ パイプフレームに油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、低コストタイプの小型高真空排気装置です。取扱いや保守点検が容易で実験用に最適です。
VPC-051A 油拡散ポンプ(空冷) 油回転真空ポンプ
VPC-250F 油拡散ポンプ(空冷) 油回転真空ポンプ
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高真空排気装置 DEPOXシリーズ 
型 式 メインポンプ 補助ポンプ 特 長
VFR-200M/X 油拡散ポンプ(空冷) 油回転真空ポンプ 架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる4タイプを用意しています。取扱いが容易で実験用に最適です。
VWR-400M/X 油拡散ポンプ(水冷) 油回転真空ポンプ
VTR-350M/X ターボ分子ポンプ(空冷) 油回転真空ポンプ
VTS-350M/X ターボ分子ポンプ(空冷) スクロール型
ドライ真空ポンプ
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ターボ分子ポンプ排気装置  VPTシリーズ
型 式 メインポンプ 補助ポンプ 特 長
VPT-060 ターボ分子ポンプ(空冷) ダイアフラム型
ドライ真空ポンプ
ベース架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに構成した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。
半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。
上記排気装置より排気速度の大きな装置をご希望される方は、株式会社アルバックの製品をご確認下さい。
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メカニカルブースターポンプ排気装置 VMシリーズ
型 式 メインポンプ 補助ポンプ 特 長
VMR-050 メカニカルブースターポンプ 油回転真空ポンプ メカニカルブースターポンプ・補助ポンプ・配管をコンパクトに一体化させた、小型の高真空排気装置です。取扱いや保守点検が容易で実験用に最適です。
VMD-030 メカニカルブースターポンプ ダイアフラム型
ドライ真空ポンプ
上記排気装置より排気速度の大きな装置をご希望される方は、株式会社アルバックの製品をご確認下さい。
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卓上型/小型真空蒸着装置 VPCシリーズ
型 式 メインポンプ 補助ポンプ 特 長
VPC-061 油拡散ポンプ(空冷) 油回転真空ポンプ パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
VPC-061A 油拡散ポンプ(空冷) 油回転真空ポンプ
VPC-260F 油拡散ポンプ(空冷) 油回転真空ポンプ
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卓上型/小型真空蒸着装置 VTRシリーズ
型 式 メインポンプ 補助ポンプ 特 長
VTR-060M/ERH ターボ分子ポンプ(空冷) 油回転真空ポンプ 架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。
クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。
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小型真空蒸着装置 DEPOXシリーズ  
型 式 メインポンプ 補助ポンプ 特 長
VFR-200M/ERH 油拡散ポンプ(空冷) 油回転真空ポンプ 架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電離真空計・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で小型の真空蒸着装置です。DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる4タイプを用意しています。取扱いが容易で基礎研究開発等の実験用に最適です。
VWR-400M/ERH 油拡散ポンプ(水冷) 油回転真空ポンプ
VTR-350M/ERH ターボ分子ポンプ(空冷) 油回転真空ポンプ
VTS-350M/ERH ターボ分子ポンプ(空冷) スクロール型
ドライ真空ポンプ
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高速型真空蒸着装置 VPCシリーズ
型 式 メインポンプ 補助ポンプ 特 長
VPC-1100 油拡散ポンプ(水冷) 油回転真空ポンプ 架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納し、ベルジャー昇降装置等を装備している、抵抗加熱式で高速型の真空蒸着装置です。大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
上記蒸着装置より大型の装置をご希望される方は、株式会社アルバックの製品をご確認下さい。
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高周波スパッタリング装置 SCOTT・RFSシリーズ
型 式 メインポンプ 補助ポンプ 特 長
SCOTT-C3 ターボ分子ポンプ(空冷) 油回転真空ポンプ RF電源を搭載した小型の高周波スパッタリング装置です。金属、半導体、絶縁物の成膜が可能なため、基礎研究開発等の実験用に最適です。
RFS-201 油拡散ポンプ(水冷) 油回転真空ポンプ
上記スパッタリング装置より大型の装置をご希望される方は、株式会社アルバックの製品をご確認下さい。
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アスピレーター MDAシリーズ
型 式 メインポンプ 補助ポンプ 特 長
MDA-006 ダイアフラム型
ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプを内蔵したポータブルアスピレーターです。ロータリーエバポレーター、遠心エバポレーター、真空ろ過等の減圧に最適です。
MDA-015A ダイアフラム型
ドライ真空ポンプ
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