高速型真空蒸着装置 VPC-1100
VPCシリーズ/水冷式油拡散ポンプ+油回転真空ポンプ


 
概  要
架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納し、ベルジャー昇降装置等を装備している、抵抗加熱式で高速型の真空蒸着装置です。大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。

特 長
1.
ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
2.
メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
3.
蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
4.
EB仕様への変更で高融点材料の成膜が可能です。
5.
キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
6.
アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。

標 準 仕 様
型  式 VPC-1100



到達圧力
4.0×10-4Pa
1.3×10-4Pa(液体窒素使用時)
排気時間
4.0×10-3Pa/10min
10-4Pa台/10min(液体窒素使用時)


真空槽
ガラスベルジャー(内径φ390mm×高さ350mm)
フィードスルカラー
20ポート(側面14/底面6)
基板推奨サイズ・最大サイズ※1
□50mm ・ □220mm(Max)


蒸発電極構成
3点式
蒸発電源・数量
SEREM PSE-150C・1 式
0~10V 150A(Max)


メインポンプ※2
油拡散ポンプ(水冷) 1100L/sec
液体窒素トラップ
有り
補助ポンプ
油回転真空ポンプ 200L/min、2台
オイルミストトラップ
オプション


メインバルブ
バタフライバルブ
補助バルブ
三方向バルブ
自動リークバルブ
オプション
操作
手動


ピラニ真空計
GP-1G
電離真空計
オプション


最大寸法  本体
1235mm(W)×836mm(D)×2155mm(H)
        電源
装置本体収納
質量     本体
313kg
        電源
装置本体収納
※1:最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。
※2:ターボ分子ポンプ(TMP)仕様にアレンジいたします。

ユーティリティ
型  式 VPC-1100
所要電気量
本体
200V 3相 50/60Hz 5.0kVA
本体
100V 単相 50/60Hz 1.0kVA
アース端子
D種 (接地抵抗値 100Ω以下)
取り合い
本体 3φ200V
ビニルキャプタイヤケーブル(R3.5-4 圧着端子付) 4m
本体 1φ100V
ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 4m
所要水量
1.5 L/min (水温:20~25℃、水圧:200kPa (ゲージ圧))
取り合い (ソケット)
Rp1/4 (カンタッチ継手付)
推奨ホース
テトロンブレードホース(内径9mm×外径15mm)
冷却水配管は、お客様にて準備願います。

寸 法 図
VPC-1100


蒸発電源 SEREM


真空槽内部構成
基本構成

 
[1]
受皿
[2]
フィルター
[3]
サービスポート(L)
[4]
サービスポート(S)
[5]
ゲージポート
[6]
ハーメチックポート
[7]
シャッター
[8]
電極コモン
[9]
電極 1
[10]
電極 2
[11]
電極 3
研究開発の目的に合わせて、カスタマイズいたします。

オプショナルパーツ
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オプションをクリックすると、各オプションがご覧になれます。


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