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小型真空蒸着装置 VPC-260F
VPCシリーズ/空冷式油拡散ポンプ+油回転真空ポンプ


 
概  要
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。

特 長
1.
ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
2.
メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
3.
蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
4.
キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。

標 準 仕 様
型  式 VPC-260F



到達圧力
1.3×10-3Pa
6.6×10-4Pa(液体窒素使用時)
排気時間
4.0×10-3Pa/20min
1.3×10-3Pa/20min(液体窒素使用時)


真空槽
ガラスベルジャー(内径φ300mm×高さ300mm)
フィードスルカラー
8ポート(側面8)
基板推奨サイズ・最大サイズ※1
□50mm ・ □140mm(Max)


蒸発電極構成
1点式
蒸発電源・数量
SEREM PSE-150C・1 式
0~10V 150A(Max)


メインポンプ
油拡散ポンプ(空冷) 200L/sec
液体窒素トラップ
有り
補助ポンプ
油回転真空ポンプ 100L/min
オイルミストトラップ
オプション


メインバルブ
クラッパーバルブ
補助バルブ
三方向バルブ
自動リークバルブ
オプション
操作
手動


ピラニ真空計
オプション
電離真空計
オプション


最大寸法  本体
530mm(W)×550mm(D)×1135mm(H)
        電源
480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
質量     本体
75kg
        電源
40kg
※1:最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。

ユーティリティ
型  式 VPC-250F
所要電気量
本体
100V 単相 50/60Hz 1.35kVA
電源
200V 単相 50/60Hz 1.5kVA
アース端子
D種 (接地抵抗値 100Ω以下)
取り合い
本体 1φ100V
ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 2m
電源 1φ200V
ビニルキャプタイヤケーブル(R2.0-5 圧着端子付) 2m

寸 法 図
VPC-260F




蒸発電源 SEREM


真空槽内部構成
基本構成



オプショナルパーツ
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