小型真空蒸着装置 VTR-060M/ERH
VTRシリーズ/ターボ分子ポンプ+油回転真空ポンプ


 
概  要
架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。
クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。

特 長
1.
卓上型のコンパクトサイズにより、省スペースでの設置が可能です。
2.
ターボ分子ポンプを搭載しています。
3.
スイッチ操作だけで高真空排気が可能です。
4.
高い拡張性を有し、多層膜蒸着、基板回転が可能です。
5.
低融点金属の蒸着に最適です。

標 準 仕 様
型  式 VTR-060M/ERH



到達圧力
10-4台(真空層内無負荷清浄時)
1.5×10-3Pa(オプション仕様)
排気時間
4.0×10-3Pa/20min(真空槽内無負荷清浄時)


真空槽
円筒型ガラスチャンバー(φ236mm×H250mm)
ベースプレート
7ポート(底面)
基板サイズ・最大サイズ
□50mm ・□120mm(Max)


蒸発電極構成
1点式
蒸発電源・数量
SEREM/PSE-150C・1式  
0~10V 80A (MAX)


メインポンプ
ターボ分子ポンプ(空冷) 60L/sec
補助ポンプ
油回転真空ポンプ 20L/min
オイルミストトラップ
OMT-050A


メインバルブ
オプション(バタフライバルブ)
補助バルブ
オプション(三方向バルブ)
自動リークバルブ
オプション(電磁弁)
真空槽ベントバルブ
オプション(リークポート)
操作
手動


真空計
オプション (ISG1)
膜厚計
オプション (CRTM-6000G)


最大寸法  本体
428mm(W)×438mm(D)×713mm(H)
        電源
480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
質量     本体
50Kg
        電源
24Kg

ユーティリティ
型  式 VTR-060M/ERH
所要電気量
本体
100V 単相 50/60Hz 0.6kVA
電源
100V 単相 50/60Hz 0.8kVA
取り合い
本体 1φ100V
ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 4m
電源 1φ100V
ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 4m
※アース付コンセントを、2系統ご用意願います


寸 法 図
VTR-060M/ERH




蒸発電源 SEREM


真空槽内部構成
基本構成



オプショナルパーツ
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オプションをクリックすると、各オプションがご覧になれます。


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東日本営業部  TEL 045-533-0205 FAX 045-533-0204
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