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真空蒸着装置 VTS-350M/ERH
DEPOXシリーズ/ターボ分子ポンプ+ドライ真空ポンプ
DEPOXシリーズの詳しい操作手順を You Tube にて公開しています。お役立てください。


 
概  要
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電離真空計・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で小型の真空蒸着装置です。DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる4タイプを用意しています。取扱いが容易で基礎研究開発等の実験用に最適です。

特  長
1.
ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
2.
メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
3.
蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着(最大4層)が可能です。
4.
キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
5.
アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。

標 準 仕 様
型  式 VTS-350M/ERH



到達圧力
4.0×10-4Pa
2.0×10-4Pa(液体窒素使用時)※1
排気時間
4.0×10-3Pa/10min
3.0×10-3Pa/10min(液体窒素使用時)※1


真空槽
ガラスベルジャー(内径φ300mm×高さ300mm)
フィードスルカラー
12ポート(側面8/底面4)
基板推奨サイズ・最大サイズ※2
□50mm ・ □140mm(Max)


蒸発電極構成
1点式
蒸発電源・数量
SEREM PSE-150C 1 式
0~10V 150A(Max)


メインポンプ
ターボ分子ポンプ (345L/sec)
液体窒素トラップ
オプション
補助ポンプ
スクロールポンプ (250L/min)
オイルミストトラップ


メインバルブ
バタフライバルブ
補助バルブ
三方向バルブ
自動リークバルブ
有り
操作
手動


ピラニ真空計
GP-1G
電離真空計
GI-M2

最大寸法  本体
730mm(W)×584mm(D)×1161mm(H)
        電源
480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
質量     本体
160kg
        電源
40kg
※1:液体窒素トラップはオプションです。
※2:最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。

ユーティリティ
型  式 VTS-350M/ERH
 所要電気量
本体
100V 単相 50/60Hz 0.9kVA
電源
200V 単相 50/60Hz 1.5kVA
 アース端子
D種 (接地抵抗値 100Ω以下)
 取り合い
本体 1φ100V
ビニルキャプタイヤケーブル(R3.5-4 圧着端子付) 4m
電源 1φ200V
ビニルキャプタイヤケーブル(R2.0-5 圧着端子付) 2m

寸 法 図
VTS-350M/ERH


蒸発電源 SEREM


真空槽内部構成
基本構成

 
研究開発の目的に合わせて、カスタマイズいたします。

オプショナルパーツ
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オプションをクリックすると、各オプションがご覧になれます。



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