|
如果在通电时泵不旋转,则泵室可能被锁定。锁定的可能原因包括内部零件损坏,由于抽吸引起的异物污染以及由于抽吸气体中包含的成分引起的粘附。检修是必要的。
Copyright (C)2019 ULVAC KIKO, Inc. All Right Reserved.