高频溅射系统

SCOTT/RFS系列

RFS-201

概要

是装载了RF电源的小型高周波溅射装置。因为可以为金属、半导体、绝缘物体成膜,所以最适合用于基础研究开发等实验。

特点及使用时的注意事项

  • 紧凑且易于移动。
  • TMP 实现高速排气。
  • 可通过流量控制阀连续控制进气
  • 适当的预溅射

规格参数

压力单位

项目 单位 值
极限压力 Pa 6.6×10-4
kPa -101.3 #1
排气时间   6.6×10-3Pa/5min
真空舱   金属舱 (200mm(W)×250mm(D)×150mm(H))
阴极   直径80mm 1 电极
标准基板   直径80mm × t1-5mm
溅射有效区域   50mm
溅射速度 mm SiO2, 成膜速度大于 20nm/min
膜厚分布   SiO2, 在 ±8%直径50mm
基板加热   Max 350℃
电极距离   30mm – 50mm (可变)
主泵   油扩散泵(水冷) 150 L/sec
液氮冷阱   可选
前级泵   油旋片真空泵 100L/min
油雾过滤器   OMT-100A
主阀门   瓣阀
副阀门   三向切换阀
自动渗漏阀   可选
控制   手动控制
射频电源   最大 300W (变量: 0 - 300W)
皮拉尼真空计   G-TRAN
电离真空计   可选
尺寸 mm 764(W) × 723(L) × 1648(H)
重量 kg 260
RoHS对应  

#1: 単位が[kPa]の到達圧力はゲージ圧表示です。

条件

项目 单位 值
电源需求 (主体)   单相 (200V) (50/60Hz): 2.8kVA
接地端子   A级(接地抗阻/100Ω 或更低)
用水需求   5.0L/min (水温:低于25℃、水压:200-300kPa)
附件 (蒸发电源) 单相、200V   乙烯绝缘软电缆(R2-5　帯端子) 4m
附件 (接地端子)   地线(铜板) 4m
附件 (用水)   Rp1/4 (带”Kantouch”软管接头) 蒂托轮编织软管 (内径9mm×外径15mm) 4m(

外形图

特别说明

  • 冷却水管由客户自己准备。

可选零件

No. 分类名称 系列 名称
1 真空镀膜机可选部件 油旋片真空泵自动渗漏阀 油旋片真空泵用自动渗漏阀
2 真空镀膜机可选部件 进气口
3 真空镀膜机可选部件 真空计孔
4 真空镀膜机可选部件 基板加热等导入
5 真空镀膜机可选部件 液氮冷阱
6 直线过滤器 OMI系列 OMI-100
7 真空镀膜机可选部件 基板加热装置 基板加热 SH-650F
8 真空镀膜机可选部件 密封法兰 密封法兰 (服务端口)

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