真空镀膜机

DEPOX系列

VWR-400M/ERH

概要

在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、皮拉尼真空计、电离真空计、真空管、电力系统等必要机器的电阻加热式小型真空蒸发装置。DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。使用简单,最适合用于基础研究开发等实验。

特点及使用时的注意事项

  • 金属与有机材料镀膜装置。
  • 真空排气设备的多种组合。
  • 强化安全性与可靠性。
  • 多层镀膜与同时镀膜(最大:4 层)还配有额外蒸发电源与电极。
  • 玻璃钟罩方便观察与维护。

规格参数

压力单位

项目 单位 值
极限压力 Pa 4.0×10-4
kPa -101.3 #1
排气时间   4.0×10-3Pa/10min
极限压力 (使用液氮时) Pa 3.0×10-4
kPa -101.3
排气时间(使用液氮时)   3.0×10-3Pa/10min
真空舱   玻璃钟罩 (直径300mm ×300mm(H))
馈通圈   12个端口(8侧面、4底面)
标准基板   □50mm ・ □140mm(最大)
电极距离   Max 200mm
电极结构   1点式
电极结构   SEREM “PSE-150C”, 0-10V, 150A (最大)
主泵   油扩散泵(水冷) 400 L/sec
液氮冷阱   有
前级泵   油旋片真空泵 200L/min
油雾过滤器   OMI-200
主阀门   蝶阀
副阀门   三向切换阀
自动渗漏阀   可选
控制   手动控制
皮拉尼真空计   ISG1(WP-01)
电离真空计   ISG1(M-34)
尺寸 mm 730(W) × 709(L) × 1161(H)
重量 kg 148
尺寸(蒸发电源) mm 480(W) × 435.3(D) × 149(H)
重量(蒸发电源) kg 40
RoHS对应  

#1: 単位が[kPa]の到達圧力はゲージ圧表示です。

条件

项目 单位 值
电源需求 (主体)   单相 (100)(50/60Hz): 1.6kVA
电源需求 (蒸发电源)   单相 (200) (50/60Hz): 1.5kVA
接地端子   D级(接地抗阻/100Ω 或更低)
用水需求   2.0L/min (水温:低于20-25℃、水压:200kPa)
附件 (主体) 单相、100V   单相 (100): 乙烯绝缘软电缆(R3.5-4帯端子) 4.0m
附件 (蒸发电源) 单相、200V   单相 (200): 乙烯绝缘软电缆(R2.0-5帯端子) 2m
附件 (用水)   Rp1/4 (带”Kantouch”软管接头)
推荐软管   蒂托轮编织软管 (内径9mm×外径15mm)

外形图

特别说明

  • 不考虑基板最大尺寸时的膜厚分布值。
  • 冷却水管由客户自己准备。

可选零件

No. 分类名称 系列 名称
1 真空镀膜机可选部件 额外开闭器
2 真空镀膜机可选部件 防着板 电极分隔板
3 真空镀膜机可选部件 油旋片真空泵自动渗漏阀 油旋片真空泵用自动渗漏阀
4 真空镀膜机可选部件 钟罩盖
5 真空镀膜机可选部件 钟罩托
6 真空镀膜机可选部件 控制机柜 为控制机架
7 真空镀膜机可选部件 成膜控制器 CRTM-6000G
8 真空镀膜机可选部件 成膜控制器 成膜控制器 CRTM-9200
9 真空镀膜机可选部件 膜厚传感器 CRTS-4
10 真空泵油 Lion S 1L
11 真空镀膜机可选部件 电极分隔板 电极分隔
12 真空镀膜机可选部件 起升装置
13 真空镀膜机可选部件 进气口
14 真空镀膜机可选部件 真空计孔
15 真空镀膜机可选部件 基板加热等导入
16 真空镀膜机可选部件 适配器 KF25 Adapter
17 真空镀膜机可选部件 金属钟罩（同水冷管)
18 真空镀膜机可选部件 镀膜电源 蒸发电源 SEREM PSE-150C
19 真空镀膜机可选部件 基板加热装置 基板加热 SH-350F
20 真空镀膜机可选部件 基板加热装置 基板加热 SH-650F
21 真空镀膜机可选部件 取样托盘（支架Ａ）
22 真空镀膜机可选部件 取样托盘（支架Ｂ）
23 真空镀膜机可选部件 取样托盘 取样托盘(支架C)
24 真空镀膜机可选部件 取样托盘 取样托盘(支架板 A)
25 真空镀膜机可选部件 取样托盘 取样托盘(支架板 B)
26 真空镀膜机可选部件 密封法兰 密封法兰 (服务端口)
27 真空镀膜机可选部件 基板旋转机构
28 真空镀膜机可选部件 UFC070 适配器

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