小型高真空排気装置

VPCシリーズ

VPC-051

概要

パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、低コストタイプの小型高真空排気装置です。取扱いや保守点検が容易で実験用に最適です。

特徴及び使用上の注意

  • 卓上型でコンパクトサイズにより、省スペースでの設置が可能です。
  • メインポンプを停止させることなく真空槽の開放を行うことが可能です。
  • 油拡散ポンプは空冷型のため冷却水が不要です。

仕様

排気速度単位

圧力単位

項目 単位 50Hz 60Hz
到達圧力 Pa 7.0×10-4
kPa -101.3 #1
到達圧力(液体窒素使用時) Pa 1.5×10-4
kPa -101.3
質量 kg 20
吸・排気口 mm VG-25
使用雰囲気温度範囲 7~30
最大寸法 mm 350(W) × 320(L) × 461(H)
RoHS対応

#1: 単位が[kPa]の到達圧力はゲージ圧表示です。

寸法図および対応表

特記事項

  • 電離真空計・ピラニ真空計・液体窒素トラップ・吸気フランジ・オイルミストトラップはオプションです。

対応オプショナルパーツ

No. 分類名 シリーズ 品名
1 真空ポンプ油 SY 100cc
2 オイルミストトラップ OMTシリーズ OMT-050A
3 真空配管用部品 ホース口付きフランジ(VF25×φ15)
4 真空配管用部品 ホース口付きフランジ(VF25×φ18)
5 真空配管用部品 クイックカップリング付きフランジ(VF25×KF16)
6 真空配管用部品 クイックカップリング付きフランジ(VF25×KF25)

各種書類・資料等のダウンロード