概要
水晶発振式成膜コントローラ 蒸着中の膜厚をモニタリングし、希望の膜厚制御、および成膜（蒸着）速度が一定に保たれるように蒸発電源へのフィードバック制御
特徴及び使用上の注意
優れた膜厚・成膜速度分解能により、成膜速度が低い場合の制御にも対応可能。
サンプリングレートが125msと速いため、レスポンスの良い制御が可能。
最大99層までの多層膜制御が可能。
RS232Cを標準装備。
シングルセンサを2本まで接続可能（切り替え式）。
プログラム可能なデジタル入出力（各12ch）およびアナログ出力（3ch）を装備。
対応製品
| No. | コード | 分類名 | シリーズ | 品名 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | VFR-200M_ERH | 真空蒸着装置 | DEPOXシリーズ | VFR-200M/ERH |
| 2 | VPC-1100 | 真空蒸着装置 | VPCシリーズ | VPC-1100 |
| 3 | VPC-260F | 真空蒸着装置 | VPCシリーズ | VPC-260F |
| 4 | VTR-060M_ERH | 真空蒸着装置 | VTRシリーズ | VTR-060M/ERH |
| 5 | VTR-350M_ERH | 真空蒸着装置 | DEPOXシリーズ | VTR-350M/ERH |
| 6 | VTS-350M_ERH | 真空蒸着装置 | DEPOXシリーズ | VTS-350M/ERH |
| 7 | VWR-400M_ERH | 真空蒸着装置 | DEPOXシリーズ | VWR-400M/ERH |
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