概要
水晶発振式成膜コントローラ 蒸着中の膜厚をモニタリングし、希望の膜厚制御、および成膜(蒸着)速度が一定に保たれるように蒸発電源へのフィードバック制御
特徴及び使用上の注意
優れた膜厚・レート分解能(0.0022A)により、低レート蒸着制御にも最適です。
4元同時の蒸着制御が可能です。(オプション追加時)
最大99層までの多層膜制御が可能です。
プログラムをUSBメモリへ保存可能です。
水晶板への多層成膜に対し、多層膜計算機能(MLC機能)を使用することで、正確な膜厚測定が可能です。
対応製品
| No. | コード | 分類名 | シリーズ | 品名 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | VFR-200M_ERH | 真空蒸着装置 | DEPOXシリーズ | VFR-200M/ERH |
| 2 | VPC-1100 | 真空蒸着装置 | VPCシリーズ | VPC-1100 |
| 3 | VPC-260F | 真空蒸着装置 | VPCシリーズ | VPC-260F |
| 4 | VTR-350M_ERH | 真空蒸着装置 | DEPOXシリーズ | VTR-350M/ERH |
| 5 | VTS-350M_ERH | 真空蒸着装置 | DEPOXシリーズ | VTS-350M/ERH |
| 6 | VWR-400M_ERH | 真空蒸着装置 | DEPOXシリーズ | VWR-400M/ERH |
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