成膜装置オプショナルパーツ

電離真空計

電離真空計 GI-M2

概要

超高真空領域から中真空領域までの圧力測定用

特徴及び使用上の注意

9.9Paから5×10-8Paの8桁半にわたる幅広い測定が可能。
用途に応じた測定子の選定が可能(他にヌードタイプも可能)。
測定子が小型・金属製のため、割ってしまうなどの不慮の事故を防止。
気体の種類によって感度設定ができるため、より正確な圧力測定が可能。
測定レンジを固定して使用される場合に最適。
セットポイント2点の出力可能。
フィラメント1/2切り替え、感度設定、レンジホールド設定、DEGAS設定など。
RS232C通信が標準装備。
BCD出力が標準装備。
圧力は0~10V出力(疑似Log出力)。

 

対応製品

No. コード 分類名 シリーズ 品名
1 RFS-201 スパッタリング装置 SCOTT/RFSシリーズ RFS-201
2 VPC-061 真空蒸着装置 VPCシリーズ VPC-061
3 VPC-061A 真空蒸着装置 VPCシリーズ VPC-061A
4 VPC-1100 真空蒸着装置 VPCシリーズ VPC-1100
5 VPC-260F 真空蒸着装置 VPCシリーズ VPC-260F

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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