概要
超高真空領域から中真空領域までの圧力測定用
特徴及び使用上の注意
9.9Paから5×10-8Paの8桁半にわたる幅広い測定が可能。
用途に応じた測定子の選定が可能(他にヌードタイプも可能)。
測定子が小型・金属製のため、割ってしまうなどの不慮の事故を防止。
気体の種類によって感度設定ができるため、より正確な圧力測定が可能。
測定レンジを固定して使用される場合に最適。
セットポイント2点の出力可能。
フィラメント1/2切り替え、感度設定、レンジホールド設定、DEGAS設定など。
RS232C通信が標準装備。
BCD出力が標準装備。
圧力は0~10V出力(疑似Log出力)。
対応製品
No. | コード | 分類名 | シリーズ | 品名 |
---|---|---|---|---|
1 | RFS-201 | スパッタリング装置 | SCOTT/RFSシリーズ | RFS-201 |
2 | VPC-061 | 真空蒸着装置 | VPCシリーズ | VPC-061 |
3 | VPC-061A | 真空蒸着装置 | VPCシリーズ | VPC-061A |
4 | VPC-1100 | 真空蒸着装置 | VPCシリーズ | VPC-1100 |
5 | VPC-260F | 真空蒸着装置 | VPCシリーズ | VPC-260F |
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