成膜装置オプショナルパーツ

VTR-060専用オプショナルパーツ

金属チャンバー

概要

金属製の角チャンバーです。

寸法図および対応表

 

対応製品

No. コード 分類名 シリーズ 品名
1 VTR-060M_ERH 真空蒸着装置 VTRシリーズ VTR-060M/ERH

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

アルバック機工株式会社

〒881-0037

宮崎県西都市大字茶臼原291-7

TEL:(0983)42-1411(代)

FAX:(0983)42-1422