概要
基板を加熱するための加熱台と計測機器のセットです。
特徴及び使用上の注意
基板(試料)の加熱用/設定温度650℃(Max)
寸法図および対応表
特記事項
金属ベルジャーが別途必要。
対応製品
| No. | コード | 分類名 | シリーズ | 品名 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | RFS-201 | スパッタリング装置 | SCOTT/RFSシリーズ | RFS-201 |
| 2 | VFR-200M_ERH | 真空蒸着装置 | DEPOXシリーズ | VFR-200M/ERH |
| 3 | VPC-1100 | 真空蒸着装置 | VPCシリーズ | VPC-1100 |
| 4 | VPC-260F | 真空蒸着装置 | VPCシリーズ | VPC-260F |
| 5 | VTR-350M_ERH | 真空蒸着装置 | DEPOXシリーズ | VTR-350M/ERH |
| 6 | VTS-350M_ERH | 真空蒸着装置 | DEPOXシリーズ | VTS-350M/ERH |
| 7 | VWR-400M_ERH | 真空蒸着装置 | DEPOXシリーズ | VWR-400M/ERH |
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