概要
各種真空装置に用いられる真空ポンプに使用可能なフィルターです。真空側、排気側いずれにも設置可能です。
規格・寸法
吸気接続口径: KF25
排気接続口径: KF25
H寸法: 154mm
特徴及び使用上の注意
装置から排出される反応生成物や粉体を、イオン交換樹脂繊維のエレメントで吸着捕集します。
真空ポンプとポンプ油を長期にわたって清浄に保ち、真空ポンプの故障、オイル交換の低減をはかる事が可能になります。
取付けには、別途KF-クランプ、レジューサー、センターリング等が必要になります(別 途、お問い合わせください。
特記事項
ろ過方式: アウト・イン・パス方式
適用機種: 500L/min以下
使用圧力範囲: 0.1MPa
使用雰囲気温度範囲: 7～40℃
使用雰囲気湿度: 85%(結露なきこと)
対応製品
| No. | コード | 分類名 | シリーズ | 品名 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | DIS-501 | スクロール型ドライ真空ポンプ | DISシリーズ | DIS-501 |
| 2 | DIS-90 | スクロール型ドライ真空ポンプ | DISシリーズ | DIS-90 |
| 3 | DISL-102 | スクロール型ドライ真空ポンプ | DISLシリーズ | DISL-102 |
| 4 | DISL-503 | スクロール型ドライ真空ポンプ | DISLシリーズ | DISL-503 |
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