成膜装置オプショナルパーツ

基盤加熱装置

基盤加熱装置 SH-350F

 

概要

基板を加熱するための加熱台と計測機器のセットです。

特徴及び使用上の注意

基板(試料)の加熱用/設定温度350℃(Max)

対応製品

No. コード 分類名 シリーズ 品名
1 VFR-200M_ERH 真空蒸着装置 DEPOXシリーズ VFR-200M/ERH
2 VPC-1100 真空蒸着装置 VPCシリーズ VPC-1100
3 VPC-260F 真空蒸着装置 VPCシリーズ VPC-260F
4 VTR-350M_ERH 真空蒸着装置 DEPOXシリーズ VTR-350M/ERH
5 VTS-350M_ERH 真空蒸着装置 DEPOXシリーズ VTS-350M/ERH
6 VWR-400M_ERH 真空蒸着装置 DEPOXシリーズ VWR-400M/ERH

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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