真空基礎知識：排気速度の各単位について

排気速度とは？

　真空ポンプにおける排気速度とは、排気系の特定箇所を流れる気体の流量Ｑを、そこの圧力Ｐで割ったものです。排気速度Ｓ＝Ｑ／Ｐで表すことができます。

●排気速度の単位

■ 単位換算表

	L/min	m3/h	cfm
L/min=L×min-1	1.0	0.06	0.035
m3/h=m3×h-1	16.67	1.0	0.589
cfm (cubic feet/min)	28.32	1.699	1.0

■ 排気速度の自動変換ツール

※[Value]に値を入力し、単位を選択してください。値はすべて実数です。乗数等は使用できません。。
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• Value

• Unit

  L/min cfm

• L/min

• m³/h

• cfm

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