油回転真空ポンプの排気原理

油回転真空ポンプの1段式と2段式の違いは？

　回転翼型油回転真空ポンプで説明します。

　ロータ、シリンダ、しゅう動翼板の組合せが1組のポンプを1段式と呼びます。

　ロータ、シリンダ、しゅう動翼板の組合せを直列に2組つないで圧縮比を大きくとることにより、低圧力を得るようにしたものを2段式と呼びます。

　なお、この組み合わせを3段以上にしても配管抵抗（コンダクタンス）および真空ポンプ油の蒸気圧の関係から、2段式以下の圧力にはならないと言われています。

　アルバック機工の油回転真空ポンプは、ゲーデ型真空ポンプで、動作原理は次の通りです。２段式はロータおよびシリンダを２式そなえ、吸入圧縮排気を２回くり返しますので、１段式より高真空が得られます。