什么是罗茨型干泵？

干泵是一种在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。

罗茨型干泵的特征

罗茨型干泵是将多段机械增压泵为一体的干泵。罗茨型干泵使用三叶转子，通过单轴连接多段转子，能够压缩、排气至大气压。
【有点】可获得清洁真空，从大气压到到达压力均可使用。
【缺点】大尺寸的抽速。

FPD制造装置、半导体制造装置、真空蒸馏、精制脱气、杀菌、干燥脱水、消毒等。

该泵的壳体中有两个三叶转子（旋转体），转子通过一对齿轮以相同的周期相反方向旋转。转子间，以及转子和壳体间不会接触，保持微小的间隙旋转，对气体进行压缩和输送。转子具有多段结构，压缩至大气压，并排放到大气中。

罗茨型干泵
【系列名称】RDA系列