什么是油扩散泵？

该泵是动量传递型泵，其通过利用油蒸气的射流使气体分子动量，并将其传递到排气口侧进行排气。

油扩散泵的特征

油扩散真空泵由通过加热油产生蒸汽的锅炉，固定方向喷射蒸汽的喷嘴和冷侧用于蒸汽冷凝组成。
【优点】结构简单。高抽速。
【缺点】油蒸气回流。

FPD制造装置、半导体制造装置、真空蒸馏、精制脱气、杀菌、干燥脱水、消毒等。

壳体中的两个8字型转子装在轴端部的驱动齿轮上并向相反方向同步旋转。从进气口进入的气体被限制在壳体和转子之间的空间中，通过转子的旋转排出到排气口侧，并通过后段的辅助泵排放到大气中。

油扩散泵
【系列名称】DPF系列