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罗茨泵

罗茨泵

罗茨泵

什么是罗茨泵?


罗茨泵具有显着提高排气速度的功能。

罗茨泵的特征


当与油回转真空泵或干泵等粗抽泵组合时,在粗抽泵排气速度下降的压力范围内,使用罗茨泵可以使排气速度显著上升。
【优点】10KPa~0.1Pa排气速度大幅提高。
【缺点】不能单独使用。

使用了罗茨泵


半导体工艺、真空蒸馏、真空包装、脱气、薄膜、真空冶金、低密度风洞实验、航天开发、真空含浸、真空干燥等。

罗茨泵的结构


壳体中的两个8字型转子装在轴端部的驱动齿轮上并向相反方向同步旋转。从进气口进入的气体被限制在壳体和转子之间的空间中,通过转子的旋转排出到排气口侧,并通过后段的辅助泵排放到大气中。




罗茨泵
【系列名称】MBS系列


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