什么是罗茨泵？

罗茨泵具有显着提高排气速度的功能。

罗茨泵的特征

当与油回转真空泵或干泵等粗抽泵组合时，在粗抽泵排气速度下降的压力范围内，使用罗茨泵可以使排气速度显著上升。
【优点】10KPa～0.1Pa排气速度大幅提高。
【缺点】不能单独使用。

半导体工艺、真空蒸馏、真空包装、脱气、薄膜、真空冶金、低密度风洞实验、航天开发、真空含浸、真空干燥等。

壳体中的两个8字型转子装在轴端部的驱动齿轮上并向相反方向同步旋转。从进气口进入的气体被限制在壳体和转子之间的空间中，通过转子的旋转排出到排气口侧，并通过后段的辅助泵排放到大气中。

罗茨泵
【系列名称】MBS系列