涡轮分子泵

什么是涡轮分子泵？

涡轮分子泵是由具有涡轮叶片的转子（动翼）和定子（静翼）组成的。

涡轮分子泵的特征

涡轮分子泵由高速旋转的动翼和保持静止的静翼组成。
动翼以每秒数万次的速度旋转，由于动翼上的负荷（阻力），在大气中会破裂。
因此，涡轮分子泵需要在一定程度的真空中使用，需要干泵或罗茨泵等前级泵。
【优点】 在分子流领域中，排气速度是恒定的并且可以连续排气。此外，不需要再生工作等维护，并且可以进行易燃和腐蚀性气体的排气。
【缺点】 高速旋转需要注意安全。

使用了涡轮分子泵

半导体制造设备，蒸发设备，溅射设备，分析设备，蚀刻设备，加速器，FPD制造设备等。

涡轮分子泵的结构

涡轮分子泵具有交替的动翼和静翼。 进入进气口的气体分子由高速旋转的动翼提供动量，并被送到下段。 通过多个压缩段，气体分子被压缩并被送到排气口。

涡轮分子泵
【系列名称】VPT系列

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