真空蒸着装置

VPCシリーズ

VPC-061

概要

パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。

特徴及び使用上の注意

  • ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
  • メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
  • 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
  • キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。

仕様

圧力単位

項目 単位 値
到達圧力 Pa 1.3×10-3
kPa -101.3 #1
排気時間   4.0×10-3Pa/20min
到達圧力(液体窒素使用時) Pa 6.6×10-4
kPa -101.3
排気時間(液体窒素使用時)   1.3×10-3Pa/20min
真空層   ガラスベルジャー(内径φ150mm×高さ200mm)
フィードスルーカラー   3ポート(底面3)
基板推奨サイズ   □25mm ・ □50mm(Max)
基板/電極間距離   Max 100mm
蒸発電極構成   1点式
蒸発電極   SEREM PSE-150C・1 式　0-10V 150A(Max)
メインポンプ   油拡散ポンプ(空冷) 50L/sec
液体窒素トラップ   有り
補助ポンプ   油回転真空ポンプ　20L/min
オイルミストトラップ   Option
メインバルブ   バタフライバルブ
補助バルブ   三方向バルブ
自動リークバルブ   ―
操作   手動
ピラニ真空計   オプション
電離真空計   オプション
最大寸法 mm 434(W) × 422(L) × 673(H)
質量 kg 28
最大寸法(電源) mm 480(W) × 435.3(D) × 149(H)
質量(電源) kg 40
RoHS対応  

#1: 単位が[kPa]の到達圧力はゲージ圧表示です。

ユーティリティ

項目 単位 値
所要電気量(本体)   単相 (100V)(50/60Hz): 0.63kVA
所要電気量(電源)   単相 (200V) (50/60Hz): 1.5kVA
アース端子   D種 (接地抵抗値 100Ω以下)
取り合い(本体)   単相 (100V): ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 2m
取り合い(電源)   単相(200V): ビニルキャプタイヤケーブル(R2.0-5 圧着端子付) 2m

寸法図および対応表

特記事項

  • 最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。

対応オプショナルパーツ

No. 分類名 シリーズ 品名
1 成膜装置オプショナルパーツ 防着板 防着板
2 成膜装置オプショナルパーツ ベルジャーカバー
3 成膜装置オプショナルパーツ 制御操作盤 制御操作盤
4 真空ポンプ油 DPFシリーズ SY 100cc
5 成膜装置オプショナルパーツ ピラニ真空計 GP-1G
6 オイルミストトラップ OMTシリーズ OMT-050A
7 成膜装置オプショナルパーツ 蒸発電源 蒸発電源 SEREM PSE-150C
8 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー（ホルダーA）
9 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー（ホルダーB）

各種書類・資料等のダウンロード