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No. Image 分類名 シリーズ/品名/型式 概要
1 KF25アダプター(M20メネジ)
KF25アダプター(M20メネジ)
真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。ホース口タイプ・KFフランジタイプ・Rネジタイプ・アダプターなどの 様々な口径に対応できるよう、各種取り揃えています。
2 □40アダプター(M20メネジ)
□40アダプター(M20メネジ)ZDC+メッキ
真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。ホース口タイプ・KFフランジタイプ・Rネジタイプ・アダプターなどの 様々な口径に対応できるよう、各種取り揃えています。
3 □50アダプター(M20メネジ)
□50アダプター(M20メネジ)ZDC+メッキ
真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。ホース口タイプ・KFフランジタイプ・Rネジタイプ・アダプターなどの 様々な口径に対応できるよう、各種取り揃えています。
4 追加シャッター
シャッターを追加することができます。
5 VTR-060専用オプショナルパーツ 防着板
ベルジャー内面への薄膜付着を防ぎます。
6 防着板 防着板
ベルジャー内面への薄膜付着を防ぎます。
7 VTR-060専用オプショナルパーツ 補助ポンプ用自動リークバルブ
補助ポンプの停止とともに補助ポンプを大気圧に開放するバルブのセットです。
8 自動リークバルブ 補助ポンプ用自動リークバルブ
補助ポンプの停止とともに補助ポンプを大気圧に開放するバルブのセットです。
9 ベルジャーカバー
ベルジャーの保護と取手をかねています。
10 ベルジャーホルダー
ベルジャーの取り付け、取り外しに便利な取手です。
11 ADT型
接続口径:R1/4
構造が単純な簡易型の真空計です。
12 AT型
接続口径:R1/4
構造が単純な簡易型の真空計です。
13 VTR-060専用オプショナルパーツ カーボン電極セット
カーボンの薄膜作成用です。
14 ホース口吸気管 逆止弁
真空ポンプ油の逆流防止用 (逆流防止機構未対応機種用)オプション部品です。 吸気管とポンプ本体(吸気口)の間に取付けることにより、停電時等の緊急時に真空槽側にポンプ油が逆流するのを防ぐことができます。
15 制御操作盤 制御操作盤
構成機器の収納用です。(※図中の計測機器およびパネルは、オプションです。)
16 膜厚コントローラ CRTM-6000G
水晶発振式成膜コントローラ 蒸着中の膜厚をモニタリングし、希望の膜厚制御、および成膜(蒸着)速度が一定に保たれるように蒸発電源へのフィードバック制御
17 膜厚コントローラ 膜厚コントローラ CRTM-9200
水晶発振式成膜コントローラ 蒸着中の膜厚をモニタリングし、希望の膜厚制御、および成膜(蒸着)速度が一定に保たれるように蒸発電源へのフィードバック制御
18 膜厚センサー CRTS-4
水晶発振式成膜コントローラ用センサー 100℃以下の蒸着用
19 Lion S 1L
VWRに搭載された油拡散ポンプ専用の油です。
20 SX 100cc
油拡散ポンプDFC-200専用の油です。

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