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No. Image 分類名 シリーズ/品名/型式 メインポンプ 補助ポンプ
1 SCOTT/RFSシリーズ RFS-201 油拡散ポンプ(水冷) 150L/sec 油回転真空ポンプ 100L/min
2 SCOTT/RFSシリーズ VTR-151M/SRF ターボ分子ポンプ 250L/sec 油回転真空ポンプ 200L/min
3 DEPOXシリーズ VFR-200M/ERH 油拡散ポンプ(空冷) 200L/sec 油回転真空ポンプ 100L/min
4 VPCシリーズ VPC-061 油拡散ポンプ(空冷) 50L/sec 油回転真空ポンプ 20L/min
5 VPCシリーズ VPC-061A 油拡散ポンプ(空冷) 50L/sec 油回転真空ポンプ 20L/min
6 VPCシリーズ VPC-1100 油拡散ポンプ(水冷) 1100L/sec 油回転真空ポンプ 200L/min ×2
7 VPCシリーズ VPC-260F 油拡散ポンプ(空冷) 200L/sec 油回転真空ポンプ 100L/min
8 VTRシリーズ VTR-060M/ERH ターボ分子ポンプ 60L/sec 油回転真空ポンプ 20L/min
9 DEPOXシリーズ VTR-350M/ERH ターボ分子ポンプ 345L/sec 油回転真空ポンプ 200L/min
10 DEPOXシリーズ VTS-350M/ERH ターボ分子ポンプ 345L/sec スクロールポンプ (250L/min)
11 DEPOXシリーズ VWR-400M/ERH 油拡散ポンプ(水冷) 400L/sec 油回転真空ポンプ 200L/min

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