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油不足による異常加熱や高温時の空気との接触、水などの吸引物の混入によって、油拡散ポンプの油は劣化します。劣化すると排気速度の低下、到達圧力不良、圧力のふらつきが発生します。このような場合は、拡散ポンプ内のオイルを抜いて洗浄し、新しいオイルを規定量注入してください。
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