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油回転真空ポンプとは?

油回転真空ポンプは、油によってロータ、ステータ、しゅう動翼板などの部品の間の気密および無効空間の減少を図っている容積移送式真空ポンプのことをいいます。
代表的な油回転真空ポンプの構造と排気原理を以下の動画に記します。
回転翼型真空ポンプは大気圧から高真空領域まで有効に作動し、小型のわりには大きな排気速度が可能です。しかも大気圧から作動できるポンプの中では最も効率がよい形式であるため、機械式真空ポンプの代表的な機種として以前から最も多く使用されています。
ロータについている2枚の翼板(ベーン)がスプリングによって、常にステータ(ポンプ室の壁面)に押し付けられながら回転し、翼板(ベーン)、ロータ、ステータ(ポンプ室)で囲まれた空間の容積変化によって 気体輸送を行う機械式の真空ポンプで、通称ゲーテ型と呼ばれている形式のものです。ポンプのステータや弁の部分を油タンク内の油に浸して、外気の侵入を防ぐ構造のものが一般的に多く、潤滑と油膜によるシールに必要な油量だけ油を吸引させる構造の商品もすでに製作されています。

油回転真空ポンプの構造と動作原理

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