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概要
ケーシング内の二つの繭型ロータが反対方向に同期回転することによって真空排気をする真空ポンプです。
特徴及び使用上の注意
仕様
排気速度単位
圧力単位
寸法図および対応表
圧縮比特性
排気速度曲線
特記事項
対応オプショナルパーツ
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