小型高真空排気装置

DEPOXシリーズ

VFR-200M/X

概要

架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる4タイプを用意し、取扱いが容易で実験用に最適。

特徴及び使用上の注意

  • メインポンプを停止させることなく真空槽の開放を行うことが可能です。
  • 三方向バルブを使用するなど、構成部品が少ないので、メンテナンスが容易です。
  • 真空計等のオプションを同一架台内に収納可能です。
  • 油拡散ポンプは空冷型のため冷却水が不要です。
  • キャスター付で、移動が容易な排気装置です。
  • アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。

仕様

排気速度単位

圧力単位

項目 単位 50Hz 60Hz
到達圧力 Pa 1.0×10-4
kPa -101.3 #1
到達圧力(液体窒素使用時) Pa 1.0×10-5
kPa -101.3
質量 kg 120
吸・排気口 mm VG-65
使用雰囲気温度範囲 0~0
最大寸法 mm 730(W) × 584(L) × 804(H)
RoHS対応

#1: 単位が[kPa]の到達圧力はゲージ圧表示です。

寸法図および対応表

特記事項

  • 電離真空計・ピラニ真空計・液体窒素トラップ・吸気フランジ・オイルミストトラップはオプションです。

対応オプショナルパーツ

No. コード 分類名 シリーズ 品名
1 DP-Oil_SX 真空ポンプ油 SX 100cc
2 OMI-100 インライントラップ OMIシリーズ OMI-100
3 OMT-100A オイルミストトラップ OMTシリーズ OMT-100A
4 VF65-Hose18 真空配管用部品 ホース口付きフランジ(VF65×φ18)
5 VF65-Hose27 真空配管用部品 ホース口付きフランジ(VF65×φ27)
6 VF65-Hose30 真空配管用部品 ホース口付きフランジ(VF65×φ30)
7 VF65-KF25 真空配管用部品 クイックカップリング付きフランジ(VF65×KF25)
8 VF65-KF40 真空配管用部品 クイックカップリング付きフランジ(VF65×KF40)

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