小型高真空排気装置

DEPOXシリーズ

VFR-200M/X

概要

架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる4タイプを用意し、取扱いが容易で実験用に最適。

特徴及び使用上の注意

  • メインポンプを停止させることなく真空槽の開放を行うことが可能です。
  • 三方向バルブを使用するなど、構成部品が少ないので、メンテナンスが容易です。
  • 真空計等のオプションを同一架台内に収納可能です。
  • 油拡散ポンプは空冷型のため冷却水が不要です。
  • キャスター付で、移動が容易な排気装置です。
  • アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。

仕様

排気速度単位

圧力単位

項目 単位 50Hz 60Hz
到達圧力 Pa 10-4
到達圧力(液体窒素使用時) Pa 10-5
質量 kg 120
吸・排気口 mm VG-65
使用雰囲気温度範囲 ℃ 7～30
最大寸法 mm 730(W) × 584(L) × 804(H)
RoHS対応 ●

寸法図および対応表

特記事項

  • 電離真空計・ピラニ真空計・液体窒素トラップ・吸気フランジ・オイルミストトラップはオプションです。

対応オプショナルパーツ

No. 分類名 シリーズ 品名
1 真空ポンプ油 DPFシリーズ SX 100cc
2 インライントラップ OMIシリーズ OMI-100
3 オイルミストトラップ OMTシリーズ OMT-100A
4 真空配管用部品 ホース口付きフランジ（VF65×φ18）
5 真空配管用部品 ホース口付きフランジ（VF65×φ27）
6 真空配管用部品 ホース口付きフランジ（VF65×φ30）
7 真空配管用部品 クイックカップリング付きフランジ（VF65×KF25）
8 真空配管用部品 クイックカップリング付きフランジ（VF65×KF40）

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