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概要
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、低コストタイプの小型高真空排気装置です。取扱いや保守点検が容易で実験用に最適です。
特徴及び使用上の注意
仕様
排気速度単位
圧力単位
#1: 単位が[kPa]の到達圧力はゲージ圧表示です。
寸法図および対応表
特記事項
対応オプショナルパーツ
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