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概要
RF電源を搭載した小型の高周波スパッタリング装置です。金属、半導体、絶縁物の成膜が可能なため、基礎研究開発等の実験用に最適です。
特徴及び使用上の注意
仕様
圧力単位
#1: 単位が[kPa]の到達圧力はゲージ圧表示です。
ユーティリティ
寸法図および対応表
特記事項
対応オプショナルパーツ
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