真空蒸着装置

DEPOXシリーズ

VFR-200M/ERH

概要

架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電離 真空計・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で小型の真空蒸着装置です。DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる4タ イプを用意しています。取扱いが容易で基礎研究開発等の実験用に最適です。

特徴及び使用上の注意

  • ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
  • メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
  • 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着(最大4層)が可能です。
  • キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
  • アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。

仕様

圧力単位

項目 単位
到達圧力 Pa 8.0×10-4
kPa -101.3 #1
排気時間   4.0×10-3Pa/15min
到達圧力(液体窒素使用時) Pa 6.0×10-4
kPa -101.3
排気時間(液体窒素使用時)   3.0×10-3Pa/15min
真空層   ガラスベルジャー(内径φ300mm×高さ300mm)
フィードスルーカラー   12ポート(側面8/底面4)
基板推奨サイズ   □50mm ・ □140mm(Max)
蒸発電極構成   1点式
蒸発電極   SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 150A(Max)
メインポンプ   油拡散ポンプ(空冷) 200L/sec
液体窒素トラップ   有り
補助ポンプ   油回転真空ポンプ 100L/min
オイルミストトラップ   OMI-100
メインバルブ   バタフライバルブ
補助バルブ   三方向バルブ
自動リークバルブ   オプション
操作   手動
ピラニ真空計   ISG1(WP-01)
電離真空計   ISG1(M-34)
最大寸法 mm 730(W) × 603(L) × 1161(H)
質量 kg 145
最大寸法(電源) mm 480(W) × 435.3(D) × 149(H)
質量(電源) kg 40
RoHS対応  

#1: 単位が[kPa]の到達圧力はゲージ圧表示です。

ユーティリティ

項目 単位
所要電気量(本体)   単相 (100V)(50/60Hz): 1.4kVA
所要電気量(電源)   単相 (200) (50/60Hz): 1.5kVA
アース端子   D種 (接地抵抗値 100Ω以下)
取り合い(本体)   単相 (100V): ビニルキャプタイヤケーブル(R3.5-4圧着端子付) 4m
取り合い(電源)   単相(200V): ビニルキャプタイヤケーブル(R2.0-5 圧着端子付) 2m

寸法図および対応表

特記事項

  • 最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。

対応オプショナルパーツ

No. 分類名 シリーズ 品名
1 成膜装置オプショナルパーツ 追加シャッター
2 成膜装置オプショナルパーツ 防着板 防着板
3 成膜装置オプショナルパーツ 自動リークバルブ 補助ポンプ用自動リークバルブ
4 成膜装置オプショナルパーツ ベルジャーカバー
5 成膜装置オプショナルパーツ ベルジャーホルダー
6 成膜装置オプショナルパーツ 制御操作盤 制御操作盤
7 成膜装置オプショナルパーツ 膜厚コントローラ CRTM-6000G
8 成膜装置オプショナルパーツ 膜厚コントローラ 膜厚コントローラ CRTM-9200
9 成膜装置オプショナルパーツ 膜厚センサー CRTS-4
10 真空ポンプ油 SX 100cc
11 成膜装置オプショナルパーツ 電極仕切板 電極仕切板
12 成膜装置オプショナルパーツ 昇降装置
13 成膜装置オプショナルパーツ ガス導入ポート
14 成膜装置オプショナルパーツ ゲージポートセット
15 成膜装置オプショナルパーツ ハーメチックシールポートセット
16 成膜装置オプショナルパーツ アダプター KF25 Adapter
17 成膜装置オプショナルパーツ 金属ベルジャー
18 成膜装置オプショナルパーツ 蒸発電源 蒸発電源 SEREM PSE-150C
19 成膜装置オプショナルパーツ 基板加熱装置 基板加熱装置 SH-350F
20 成膜装置オプショナルパーツ 基板加熱装置 基板加熱装置 SH-650F
21 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー(ホルダーA)
22 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー(ホルダーB)
23 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー 試料ホルダー(ホルダーC)
24 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー 試料ホルダー(ホルダー ソフトA)
25 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー 試料ホルダー(ホルダー ソフトB)
26 成膜装置オプショナルパーツ 封止ブランジセット 封止フランジセット
27 成膜装置オプショナルパーツ UFC070アダプター

各種書類・資料等のダウンロード