真空蒸着装置

VPCシリーズ

VPC-1100

概要

架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納し、ベルジャー昇降装置等を装備している、抵抗加熱式で高速型の真空蒸着装置です。大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。

特徴及び使用上の注意

  • ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
  • メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
  • 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
  • EB仕様への変更で高融点材料の成膜が可能です。
  • キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
  • アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。

仕様

圧力単位

項目 単位
到達圧力 Pa 4.0×10-4
kPa -101.3 #1
排気時間   4.0×10-3Pa/10min
到達圧力(液体窒素使用時) Pa 1.3×10-4
kPa -101.3
排気時間(液体窒素使用時)   1.0×10-4Pa/10min
真空層   ガラスベルジャー(内径φ390mm×高さ350mm)
フィードスルーカラー   20ポート(側面14/底面6)
基板推奨サイズ   □50mm ・ □220mm(Max)
蒸発電極構成   3点式
蒸発電極   SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 150A(Max)
メインポンプ   油拡散ポンプ(水冷) 1100L/sec
液体窒素トラップ   有り
補助ポンプ   油回転真空ポンプ 200L/min ×2
オイルミストトラップ   Option
メインバルブ   バタフライバルブ
補助バルブ   三方向バルブ
自動リークバルブ   オプション
操作   手動
ピラニ真空計   GP-1G
電離真空計   オプション
最大寸法 mm 1235(W) × 836(L) × 2155(H)
質量 kg 313
質量(電源) kg 313
RoHS対応  

#1: 単位が[kPa]の到達圧力はゲージ圧表示です。

ユーティリティ

項目 単位
所要電気量(本体)   三相200V:5.0kVA 単相100V:1.0kVA
アース端子   D種 (接地抵抗値 100Ω以下)
所要水量   1.5 L/min (水温:20~25℃、水圧:200~300kPa (ゲージ圧))
取り合い(本体)   三相200V:ケーブル4m(R3.5-4圧着端子付) 単相100V:ケーブル4m(プラグ付)
取り合い(水)   Rp1/4 (カンタッチ継手付)
推奨ホース   テトロンブレードホース(内径9mm×外径15mm)

寸法図および対応表

特記事項

  • 最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。
  • ターボ分子ポンプ(TMP)仕様にアレンジいたします。
  • 冷却水配管は、お客様にて準備願います。

対応オプショナルパーツ

No. コード 分類名 シリーズ 品名
1 AdditionalShutter 成膜装置オプショナルパーツ 追加シャッター
2 AdhesionShieldPlate2 成膜装置オプショナルパーツ 防着板 防着板
3 AutomaticLeakValve2 成膜装置オプショナルパーツ 自動リークバルブ 補助ポンプ用自動リークバルブ
4 ControlRack 成膜装置オプショナルパーツ 制御操作盤 制御操作盤
5 CRTM-6000G 成膜装置オプショナルパーツ 膜厚コントローラ CRTM-6000G
6 CRTM-9200 成膜装置オプショナルパーツ 膜厚コントローラ 膜厚コントローラ CRTM-9200
7 CRTS-4 成膜装置オプショナルパーツ 膜厚センサー CRTS-4
8 ElectrodePartition2 成膜装置オプショナルパーツ 電極仕切板 電極仕切板
9 GasIntroductionPort 成膜装置オプショナルパーツ ガス導入ポート
10 GI-M2 成膜装置オプショナルパーツ 電離真空計 電離真空計 GI-M2
11 GuagePortSet 成膜装置オプショナルパーツ ゲージポートセット
12 HermeticSealPortSet 成膜装置オプショナルパーツ ハーメチックシールポートセット
13 KF25AdapterForChambe 成膜装置オプショナルパーツ アダプター KF25 Adapter
14 MetalBellJar 成膜装置オプショナルパーツ 金属ベルジャー
15 PSE-15 成膜装置オプショナルパーツ 蒸発電源 蒸発電源 SEREM PSE-150C
16 S-HeatingSH350 成膜装置オプショナルパーツ 基板加熱装置 基板加熱装置 SH-350F
17 S-HeatingSH650 成膜装置オプショナルパーツ 基板加熱装置 基板加熱装置 SH-650F
18 SampleHolderA 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー(ホルダーA)
19 SampleHolderB 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー(ホルダーB)
20 SampleHolderC 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー 試料ホルダー(ホルダーC)
21 SampleHolderSoftA 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー 試料ホルダー(ホルダー ソフトA)
22 SampleHolderSoftB 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー 試料ホルダー(ホルダー ソフトB)
23 SealingFlangeSet 成膜装置オプショナルパーツ 封止ブランジセット 封止フランジセット
24 SystemRack1100 成膜装置オプショナルパーツ 計器ラック 計器ラック
25 UFC070Adapter 成膜装置オプショナルパーツ UFC070アダプター

各種書類・資料等のダウンロード