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概要
架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納し、ベルジャー昇降装置等を装備している、抵抗加熱式で高速型の真空蒸着装置です。大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
特徴及び使用上の注意
仕様
圧力単位
#1: 単位が[kPa]の到達圧力はゲージ圧表示です。
ユーティリティ
寸法図および対応表
特記事項
対応オプショナルパーツ
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