真空蒸着装置

VPCシリーズ

VPC-260F

概要

パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。

特徴及び使用上の注意

  • ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
  • メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
  • 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
  • キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。

仕様

圧力単位

項目 単位
到達圧力 Pa 4.0×10-3
kPa -101.3 #1
排気時間   4.0×10-3Pa/20min
到達圧力(液体窒素使用時) Pa 1.3×10-3
kPa -101.3
排気時間(液体窒素使用時)   1.3×10-3Pa/20min
真空層   ガラスベルジャー(内径φ300mm×高さ300mm)
フィードスルーカラー   8ポート(側面8)
基板推奨サイズ   □50mm ・ □140mm(Max)
蒸発電極構成   1点式
蒸発電極   SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 150A(Max)
メインポンプ   油拡散ポンプ(空冷) 200L/sec
液体窒素トラップ   有り
補助ポンプ   油回転真空ポンプ 100L/min
オイルミストトラップ   Option
メインバルブ   クラッパーバルブ
補助バルブ   三方向バルブ
自動リークバルブ   オプション
操作   手動
ピラニ真空計   オプション
電離真空計   オプション
最大寸法 mm 530(W) × 550(L) × 1135(H)
質量 kg 75
最大寸法(電源) mm 480(W) × 435.3(D) × 149(H)
質量(電源) kg 40
RoHS対応  

#1: 単位が[kPa]の到達圧力はゲージ圧表示です。

ユーティリティ

項目 単位
所要電気量(本体)   単相 (100V)(50/60Hz): 1.35kVA
所要電気量(電源)   単相 (200V) (50/60Hz): 1.5kVA
アース端子   D種 (接地抵抗値 100Ω以下)
取り合い(本体)   単相 (100V): ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 2m
取り合い(電源)   単相(200V): ビニルキャプタイヤケーブル(R2.0-5 圧着端子付) 2m

寸法図および対応表

特記事項

  • 最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。

対応オプショナルパーツ

No. コード 分類名 シリーズ 品名
1 AdditionalShutter 成膜装置オプショナルパーツ 追加シャッター
2 AdhesionShieldPlate2 成膜装置オプショナルパーツ 防着板 防着板
3 AutomaticLeakValve2 成膜装置オプショナルパーツ 自動リークバルブ 補助ポンプ用自動リークバルブ
4 BellJarCover 成膜装置オプショナルパーツ ベルジャーカバー
5 BellJarHolder 成膜装置オプショナルパーツ ベルジャーホルダー
6 ControlRack 成膜装置オプショナルパーツ 制御操作盤 制御操作盤
7 CRTM-6000G 成膜装置オプショナルパーツ 膜厚コントローラ CRTM-6000G
8 CRTM-9200 成膜装置オプショナルパーツ 膜厚コントローラ 膜厚コントローラ CRTM-9200
9 CRTS-4 成膜装置オプショナルパーツ 膜厚センサー CRTS-4
10 DP-Oil_SX 真空ポンプ油 SX 100cc
11 ElectrodePartition2 成膜装置オプショナルパーツ 電極仕切板 電極仕切板
12 ElevatingDvice 成膜装置オプショナルパーツ 昇降装置
13 GasIntroductionPort 成膜装置オプショナルパーツ ガス導入ポート
14 GI-M2 成膜装置オプショナルパーツ 電離真空計 電離真空計 GI-M2
15 GP-1G 成膜装置オプショナルパーツ ピラニ真空計 GP-1G
16 GuagePortSet 成膜装置オプショナルパーツ ゲージポートセット
17 HermeticSealPortSet 成膜装置オプショナルパーツ ハーメチックシールポートセット
18 MetalBellJar 成膜装置オプショナルパーツ 金属ベルジャー
19 OMI-100 インライントラップ OMIシリーズ OMI-100
20 OMT-100A オイルミストトラップ OMTシリーズ OMT-100A
21 PSE-15 成膜装置オプショナルパーツ 蒸発電源 蒸発電源 SEREM PSE-150C
22 S-HeatingSH350 成膜装置オプショナルパーツ 基板加熱装置 基板加熱装置 SH-350F
23 S-HeatingSH650 成膜装置オプショナルパーツ 基板加熱装置 基板加熱装置 SH-650F
24 SampleHolderA 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー(ホルダーA)
25 SampleHolderB 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー(ホルダーB)
26 SampleHolderC 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー 試料ホルダー(ホルダーC)
27 SampleHolderSoftA 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー 試料ホルダー(ホルダー ソフトA)
28 SampleHolderSoftB 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー 試料ホルダー(ホルダー ソフトB)
29 SealingFlangeSet 成膜装置オプショナルパーツ 封止ブランジセット 封止フランジセット
30 UFC070Adapter 成膜装置オプショナルパーツ UFC070アダプター

各種書類・資料等のダウンロード