真空蒸着装置

VPCシリーズ

VPC-260F

概要

パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。

特徴及び使用上の注意

  • ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
  • メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
  • 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
  • キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。

仕様

圧力単位

項目 単位
到達圧力 Pa 4.0×10-3
kPa -101.3 #1
排気時間   4.0×10-3Pa/20min
到達圧力(液体窒素使用時) Pa 1.3×10-3
kPa -101.3
排気時間(液体窒素使用時)   1.3×10-3Pa/20min
真空層   ガラスベルジャー(内径φ300mm×高さ300mm)
フィードスルーカラー   8ポート(側面8)
基板推奨サイズ   □50mm ・ □140mm(Max)
蒸発電極構成   1点式
蒸発電極   SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 150A(Max)
メインポンプ   油拡散ポンプ(空冷) 200L/sec
液体窒素トラップ   有り
補助ポンプ   油回転真空ポンプ 100L/min
オイルミストトラップ   Option
メインバルブ   クラッパーバルブ
補助バルブ   三方向バルブ
自動リークバルブ   オプション
操作   手動
ピラニ真空計   オプション
電離真空計   オプション
最大寸法 mm 530(W) × 550(L) × 1135(H)
質量 kg 75
最大寸法(電源) mm 480(W) × 435.3(D) × 149(H)
質量(電源) kg 40
RoHS対応  

#1: 単位が[kPa]の到達圧力はゲージ圧表示です。

ユーティリティ

項目 単位
所要電気量(本体)   単相 (100V)(50/60Hz): 1.35kVA
所要電気量(電源)   単相 (200V) (50/60Hz): 1.5kVA
アース端子   D種 (接地抵抗値 100Ω以下)
取り合い(本体)   単相 (100V): ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 2m
取り合い(電源)   単相(200V): ビニルキャプタイヤケーブル(R2.0-5 圧着端子付) 2m

寸法図および対応表

特記事項

  • 最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。

対応オプショナルパーツ

No. 分類名 シリーズ 品名
1 成膜装置オプショナルパーツ 追加シャッター
2 成膜装置オプショナルパーツ 防着板 防着板
3 成膜装置オプショナルパーツ 自動リークバルブ 補助ポンプ用自動リークバルブ
4 成膜装置オプショナルパーツ ベルジャーカバー
5 成膜装置オプショナルパーツ ベルジャーホルダー
6 成膜装置オプショナルパーツ 制御操作盤 制御操作盤
7 成膜装置オプショナルパーツ 膜厚コントローラ CRTM-6000G
8 成膜装置オプショナルパーツ 膜厚コントローラ 膜厚コントローラ CRTM-9200
9 成膜装置オプショナルパーツ 膜厚センサー CRTS-4
10 真空ポンプ油 SX 100cc
11 成膜装置オプショナルパーツ 電極仕切板 電極仕切板
12 成膜装置オプショナルパーツ 昇降装置
13 成膜装置オプショナルパーツ ガス導入ポート
14 成膜装置オプショナルパーツ 電離真空計 電離真空計 GI-M2
15 成膜装置オプショナルパーツ ピラニ真空計 GP-1G
16 成膜装置オプショナルパーツ ゲージポートセット
17 成膜装置オプショナルパーツ ハーメチックシールポートセット
18 成膜装置オプショナルパーツ 金属ベルジャー
19 インライントラップ OMIシリーズ OMI-100
20 オイルミストトラップ OMTシリーズ OMT-100A
21 成膜装置オプショナルパーツ 蒸発電源 蒸発電源 SEREM PSE-150C
22 成膜装置オプショナルパーツ 基板加熱装置 基板加熱装置 SH-350F
23 成膜装置オプショナルパーツ 基板加熱装置 基板加熱装置 SH-650F
24 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー(ホルダーA)
25 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー(ホルダーB)
26 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー 試料ホルダー(ホルダーC)
27 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー 試料ホルダー(ホルダー ソフトA)
28 成膜装置オプショナルパーツ 試料ホルダー 試料ホルダー(ホルダー ソフトB)
29 成膜装置オプショナルパーツ 封止ブランジセット 封止フランジセット
30 成膜装置オプショナルパーツ UFC070アダプター

各種書類・資料等のダウンロード