真空蒸着装置

VTRシリーズ

VTR-060M/ERH

概要

架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。

特徴及び使用上の注意

  • 卓上型のコンパクトサイズにより、省スペースでの設置が可能です。
  • ターボ分子ポンプを搭載しています。
  • スイッチ操作だけで高真空排気が可能です。
  • 高い拡張性を有し、多層膜蒸着、基板回転が可能です。
  • 低融点金属の蒸着に最適です。

仕様

圧力単位

項目 単位
到達圧力 Pa 10-4
排気時間   4.0×10-3Pa/20min
真空層   円筒型ガラスチャンバー(φ236mm×H250mm)
フィードスルーカラー   7ポート(底面)
基板推奨サイズ   □50mm ・ □120mm(Max)
基板/電極間距離   Max 200mm
蒸発電極構成   1点式
蒸発電極   SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 80A(Max)
メインポンプ   ターボ分子ポンプ 60L/sec
補助ポンプ   油回転真空ポンプ 20L/min
オイルミストトラップ   OMT-050A
メインバルブ   オプション(バタフライバルブ)
補助バルブ   オプション(三方向バルブ)
自動リークバルブ   オプション
操作   手動
膜厚計   オプション (CRTM-6000G)
最大寸法 mm 428(W) × 438(L) × 713(H)
質量 kg 50
最大寸法(電源) mm 480(W) × 435.3(D) × 149(H)
質量(電源) kg 24
RoHS対応  

ユーティリティ

項目 単位
所要電気量(本体)   単相 (100V)(50/60Hz): 0.6kVA
所要電気量(電源)   単相 (100V) (50/60Hz): 0.8kVA
取り合い(本体)   単相 (100V): ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 4m
取り合い(電源)   単相(100V): ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 4m

寸法図および対応表

特記事項

  • アース付コンセントを、2系統ご用意願います
  • バルブ配管セット付の場合の到達圧力は1.5×10-3Paになります。

対応オプショナルパーツ

No. コード 分類名 シリーズ 品名
1 AdhesionShieldPlate 成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 防着板
2 AutomaticLeakValve 成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 補助ポンプ用自動リークバルブ
3 CarbonElectrodeSet 成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ カーボン電極セット
4 CRTM-6000G 成膜装置オプショナルパーツ 膜厚コントローラ CRTM-6000G
5 CRTS-4 成膜装置オプショナルパーツ 膜厚センサー CRTS-4
6 ElectrodePartition 成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 電極仕切板
7 MetalChamber 成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 金属チャンバー
8 PSE-15 成膜装置オプショナルパーツ 蒸発電源 蒸発電源 SEREM PSE-150C
9 S-HeatingSH350for060 成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 基板加熱装置 SH-350F
10 S-HeatingSH650for060 成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 基板加熱装置 SH-650F
11 SampleHolder 成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 試料ホルダー
12 SubstrateRotationMec 成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 基板回転機構
13 SystemRack 成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 計器ラック
14 VacuumGaugeSet 成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 真空計セット
15 ValvePipingSet 成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ バルブ配管セット

各種書類・資料等のダウンロード