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概要
架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。
特徴及び使用上の注意
仕様
圧力単位
ユーティリティ
寸法図および対応表
特記事項
対応オプショナルパーツ
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